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国家自然科学基金(ID20082047)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：刘凤丽郝永平更多>>
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相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇英文
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇高G值
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇沈阳理工大学

作者

  • 1篇郝永平
  • 1篇刘凤丽

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
高g值压阻式微加速度计设计(英文)被引量：4
2009年
利用加速度计的机械变形导致电阻的变化,设计了一种测量高g值的加速度计。在Coventor Ware软件下建立了加速度计的加工工艺流程和实体模型。利用压阻分析模块MemPZR,采用FEM分析方法,通过改变压阻块在悬臂梁上的位置,得到压阻块位置与器件输出电流之间的关系,找到了压阻块在悬臂梁上的最优放置位置。改变压阻块的电导率,验证了器件的灵敏度变化与压阻率变化的趋势是一致的。在20kg加速度的输入下,得到了压阻块应力的分布,以及电流的大小及分布,和悬臂梁的应力大小及分布,验证了加速度计的抗过载能力。
刘凤丽郝永平
关键词：微机电系统
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