教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NCET-13-1065)
- 作品数：4 被引量：64H指数：3
- 相关作者：彭凯刘小康朱革王先全于治成更多>>
- 相关机构：重庆理工大学重庆大学合肥工业大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金重庆市教育委员会科学技术研究项目更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 单排差动结构的新型纳米时栅位移传感器被引量：21
- 2017年
- 在双排结构纳米时栅位移传感器的研究基础上,提出了一种单排差动结构的新型纳米时栅位移传感器。通过直接构造一个匀速运动的交变电场来产生行波信号,解决了双排结构所具有的串扰问题和安装问题;采用差动感应极片来拾取信号,可有效地消除共模干扰。用微纳加工工艺制作了一种多层薄膜的单排差动结构的纳米时栅传感器样机并进行了性能测试,最终在200 mm的量程范围内取得了±150 nm的测量精度。对比双排结构的纳米时栅传感器,这种新型的纳米时栅传感器测量精度、信号稳定性及抗干扰能力得到明显的提高,并且在尺寸减小的同时拓展了有效量程,因此在产品化的过程中更具有应用前景。
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- 关键词：电容式位移传感器
- 基于光场耦合的时栅位移传感器设计被引量：2
- 2016年
- 为了实现制造成本低、易加工、高精度的位移测量,设计了一种光场耦合式的时栅位移传感器。介绍了利用基于交变光场的两路驻波合成电行波信号,并通过鉴相的方式实现空间位移转换的测量原理;完成了传感器的结构设计,给出了传感器的系统框图,具体分析了信号处理电路的功能。实验结果表明:光场耦合式的时栅位移传感器在108 mm范围内误差为±0.5μm。
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- 关键词：时栅传感器
- 纳米时栅位移传感器的理论模型与误差分析被引量：35
- 2014年
- 纳米位移测量技术及器件是实现纳米精度定位与控制的"眼睛",针对现有的纳米位移测量方法在大量程和高精度之间难以兼顾的现状,提出一种基于交变电场的驻波合成电行波的新方法,研究一种新型的纳米时栅位移传感器。对纳米时栅的工作原理进行了详细分析,构建了一个受4路位移信息调制的行波表达式,通过对表达式的理论推导,分析了2路驻波幅值不相等、单路驻波正负幅值不相等以及驻波中包含高次谐波分量等因素导致的误差规律。在此基础上开展了大量验证性实验,结果证明了理论分析的正确性。根据理论分析和实验结果,明确了纳米时栅一次、二次和四次误差的产生原因,据此对传感结构和参数进行了优化设计,最终在200 mm测量范围内精度达到±300 nm。
- 刘小康彭凯王先全朱革
- 关键词：电容传感器时栅
- 基于预测理论的光栅信号精密细分方法研究被引量：9
- 2015年
- 针对光栅传感器在高档数控机床及精密加工领域应用中的高精度细分和快速跟踪的问题,提出一种基于预测理论的光栅位移信号精密细分的新方法。运用时间信息分析和预测空间位置的时空转换思想,根据光栅刻线在空间的均匀性与时间序列的对应关系构建预测细分模型,完成了光栅信号在时间和空间上的预测细分。动态实验表明,采用该模型进行预测细分,最大细分倍数为400倍,预测误差为±3.5″,实现了对光栅信号的高精度细分。
- 刘浩冯济琴陈自然黄沛
- 关键词：光栅AR模型
