您的位置: 专家智库 > >

国家自然科学基金(51205043)

作品数:3 被引量:6H指数:1
相关作者:刘淑杰张元良张洪潮更多>>
相关机构:大连理工大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域:机械工程理学一般工业技术更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇机械工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇探针
  • 1篇球形
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇面形
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻胶
  • 1篇广域
  • 1篇广域测量
  • 1篇白光干涉
  • 1篇SI3N4
  • 1篇SI基
  • 1篇SU-8
  • 1篇SUPPOR...
  • 1篇SVM
  • 1篇WT
  • 1篇BASED_...
  • 1篇MACHIN...
  • 1篇MEMS

机构

  • 2篇大连理工大学

作者

  • 2篇张元良
  • 2篇刘淑杰
  • 1篇张洪潮

传媒

  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇Journa...
  • 1篇中国光学

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2014
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
Si基Si_3N_4弹性膜独立多探针的制作
2016年
针对广域光-接触多探针方法测量光刻胶表面形貌的需要,设计制作了Si基Si_3N_4弹性膜独立多探针,该探针呈9×9二维阵列分布。先利用ANSYS有限元软件分析探针Si_3N_4弹性薄膜的厚度和面积尺寸对探针测量范围的影响规律,得到了优化的几何参数。然后基于仿真结果,运用微机电系统(MEMS)技术中的硅基工艺、薄膜工艺和光刻工艺完成了多探针硅杯的腐蚀、弹性薄膜的沉积及SU-8胶质探针的制作,制备出独立多探针。初步测量Si基Si_3N_4弹性膜独立多探针单元的各项参数表明:Si_3N_4弹性膜的长度平均值为399.4μm,最大偏差为1.8%;SU-8胶质探针的尺寸为Φ99.1μm×27.8μm,最大偏差分别为1.9%和9.8%;探针间的平均距离为1.500 6 mm,最大偏差为0.6%。该探针的结构设计合理,制作工艺可行,可以用于大范围、快速测量方法。
原作兰刘淑杰张元良
关键词:广域测量
透明软质薄膜的表面形貌测量被引量:6
2014年
为了实现光刻胶表面形貌的广域、高精度测量,对新一代测量理论及测量方法进行了研究。首先分析了被测物件的特性,根据其柔软、透明的特征提出应用光干涉法和机械探针相结合的方法进行测量,同时阐明了使用此方法进行表面形貌测量的优点,并据此原理搭建了光学多探针表面形貌测量装置,光学测量部分采用白光干涉计,探针部分采用拥有8只球型探头的多点悬臂测量探针。然后应用此装置对标准刻槽试件和半透明光造型薄膜试件进行了测量。测量52 nm的标准刻槽试件时得到了测量误差小于2%,标准偏差小于1 nm的结果,表明本装置可以达到高精度测量表面形貌的目的。通过测量高约400 nm的树脂材料证实了此装置可以克服多重反射的影响测量透明薄膜的表面形貌。
刘淑杰张元良张洪潮
关键词:表面形貌测量光刻胶白光干涉
Machinery Condition Prediction Based on Support Vector Machine Model with Wavelet Transform
2014年
Soft failure of mechanical equipment makes its performance drop gradually,which occupies a large proportion and has certain regularity. The performance can be evaluated and predicted through early state monitoring and data analysis. The vibration signal was modeled from the double row bearing,and wavelet transform and support vector machine model( WT-SVM model) was constructed and trained for bearing degradation process prediction. Besides Hazen plotting position relationships was applied to describing the degradation trend distribution and a 95%confidence level based on t-distribution was given. The single SVM model and neural network( NN) approach were also investigated as a comparison. Results indicate that the WT-SVM model outperforms the NN and single SVM models,and is feasible and effective in machinery condition prediction.
刘淑杰陆惠天李超胡娅维张洪潮
共1页<1>
聚类工具0