江苏省普通高校研究生科研创新计划项目(CX10B400Z)
- 作品数:1 被引量:6H指数:1
- 相关作者:王峰郭冬梅夏巍王鸣郝辉更多>>
- 相关机构:南京师范大学更多>>
- 发文基金:江苏省普通高校研究生科研创新计划项目江苏省高校自然科学研究项目更多>>
- 相关领域:电子电信机械工程更多>>
- 相位调制型激光自混合干涉仪的动态特性分析及测试被引量:6
- 2011年
- 为了提高激光自混合干涉仪在位移测量中的精度,将相位调制技术引入激光自混合干涉系统中,通过在激光器的外腔中放置的电光调制器对光束进行正弦相位调制,采用傅里叶变换在频域中重构自混合干涉信号的相位。采用截止阶数的方法对系统的动态测量范围上限进行了理论分析,获得了正确解调相位所需的电光晶体的最低调制频率与被测振动的频率和振幅的关系。将系统应用于高精度商用压电陶瓷的振动过程的测量,测量数据与Agilent 5529A动态校准仪的同步测量结果进行比对,结果表明,相位调制型激光自混合干涉仪适合于动态信号的实时测量,位移测量精度可达20nm。
- 夏巍郝辉王峰王鸣郭冬梅郭文华
- 关键词:自混合干涉动态范围正弦相位调制
- 相位调制型激光自混合干涉仪的动态特性分析及测试
- 为了提高激光自混合干涉仪在位移测量中的精度,将相位调制技术引入激光自混合干涉系统中,通过在激光器的外腔中放置的电光调制器对光束进行正弦相位调制,采用傅里叶变换在频域中重构自混合干涉信号的相位。采用截止阶数的方法对系统的动...
- 夏巍郝辉王鸣王峰
- 关键词:自混合干涉动态范围正弦相位调制
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