国家高技术研究发展计划(2003AA311050)
- 作品数：3 被引量：13H指数：2
- 相关作者：缪同群张贵彦袁宏韬王成更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 一种测量光学表面粗糙度的全积分散射仪被引量：10
- 2007年
- 运用全积分散射理论,结合积分球的光度特性,研制了一种用于粗糙度测量的比较法全积分散射仪。用原子力显微镜分析了用相同的抛光工艺制备的三片超光滑硅片的表面粗糙度,其结果均在0.14～0.19 nm之间,说明了此抛光工艺的稳定性;用原子力显微镜测量值为0.143 nm均方根粗糙度的超光滑硅片作为参考样片,比较了其他三片相同工艺制备的硅表面的全积分散射测量结果,结果显示与标准片的测量结果非常接近,均在0.14～0.18 nm之间,验证了全积分散射法的合理性;进一步分析了锗、铝、碳化硅等表面的全积分散射测量结果,结果呈现出明显的差异,说明该方法具有较高的灵敏度和较大的动态范围。
- 张贵彦袁宏韬缪同群
- 关键词：积分球超光滑
- 用Monte-Carlo法模拟积分球的光功率波形变换特性被引量：2
- 2007年
- 运用Monte-Carlo法原理,用matlab软件编程,通过随机抽样,追迹了100000个光子,对一半径为100mm,漫反射率为0.85的积分球的光功率波形变换特性进行了模拟。结果显示,当入射光为脉宽无限窄的Dirac函数时,积分球的出射光功率波形是在指数曲线的基础上叠加了一个O平均值的振荡曲线,振荡幅度随时间很快降低,而且随统计时间间隔的增大趋向于0。在统计时间间隔与单次最大反射时间相比较大时,模拟结果与解析解基本吻合;在统计时间间隔与单次最大反射时间相当或更短时,对模拟数据可以进行指数拟合,相关系数一般大于0.98。拟合指数曲线给出的时间常数与解析解基本一致。
- 张贵彦王成袁宏韬缪同群
- 关键词：积分球时间常数
- 一种测量光学表面粗糙度的全积分散射仪
- 运用全积分散射理论,结合积分球的光度特性,研制了一种用于粗糙度测量的比较法全积分散射仪。用原子力显微镜分析了用相同的抛光工艺制备的三片超光滑硅片的表面粗糙度,其结果均在0.14～0.19nm 之间,说明了此抛光工艺的稳定...
- 张贵彦袁宏韬缪同群
- 关键词：积分球超光滑
- 文献传递
- 用蒙特卡罗法模拟积分球的光传输时间特性被引量：2
- 2007年
- 运用蒙特卡罗法原理,用Matlab软件编程,通过随机抽样,追迹了100 000个光子,对一半径为100mm,漫反射率为0.85的积分球的光传输时间特性进行了仿真分析.结果显示:积分球对入射光脉冲具有展宽作用,当入射光为脉宽无限窄的理想脉冲时,积分球的出射光能量波形符合指数曲线规律.对模拟数据进行指数拟合,得到了各拟合系数及相关系数.在此基础上对方波函数的输出响应进行模拟,得到了分段指数曲线,进一步验证了积分球对脉冲的展宽作用.两种情况下拟合的时间常数基本一致,拟合的相关系数大于0.97.
- 张贵彦袁宏韬缪同群
- 关键词：蒙特卡罗法积分球时间常数
