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中国人民解放军总装备部预研基金(9140A14010511JW0304)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：陈宏海刘武张卫平孙永明更多>>
相关机构：上海交通大学更多>>
发文基金：中国人民解放军总装备部预研基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇亚胺
  • 1篇阵列
  • 1篇热线
  • 1篇酰亚胺
  • 1篇聚酰亚胺
  • 1篇剪切应力
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇传感器设计
  • 1篇传感器阵列

机构

  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇孙永明
  • 1篇张卫平
  • 1篇刘武
  • 1篇陈宏海

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于聚酰亚胺基底的热剪切应力传感器设计被引量：4
2013年
设计了一种基于柔性MEMS技术的双热线结构剪切应力传感器,可以实现曲体表面上二维剪切应力的矢量测量,对于实现流场的主动控制具有重要的意义。介绍了双热线热剪切应力传感器及其阵列的原理和结构设计;通过有限元仿真分析对器件的尺寸参数进行了优化设计;利用MEMS工艺制作方法,实现了信号背线引接技术,减少了对流场的干扰。实验结果表明:工艺流程设计和器件参数设计合理,传感器阵列具有良好测试性能。
孙永明刘武张卫平陈宏海
关键词：聚酰亚胺MEMS
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