江西省教育厅科学技术研究项目(GJJ08365)
- 作品数：1 被引量：2H指数：1
- 相关作者：段为梁祝文范永中张淑娟李明升更多>>
- 相关机构：江西科技师范学院更多>>
- 发文基金：江西省自然科学基金江西省教育厅科学技术研究项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 非对称双极脉冲磁控溅射沉积氮化铬铝涂层的微观结构和硬度被引量：2
- 2010年
- 利用非对称双极脉冲磁控溅射技术,双极分别接纯铬靶和纯铝靶,通过调整两靶的功率,以反应溅射的方式沉积不同铬铝比的氮化铬铝涂层。研究不同Al含量的氮化铬铝涂层的结构和硬度。所获得的涂层依次为Cr0.95Al0.05N、Cr0.9Al0.1N、Cr0.83Al0.17N和Cr0.75Al0.25N,均为B1NaCl结构,(220)为主要的织构取向。随着涂层中Al含量的增加,涂层表面突起的尺寸逐渐降低,涂层趋于光滑致密;低Al含量涂层为柱状晶结构,随Al含量提高,涂层结构更加致密,并向等轴晶结构转变。涂层硬度随Al含量的提高先增加后降低,Cr0.83Al0.17N涂层表现出最高的硬度,维氏硬度达到33GPa以上。
- 李明升范永中张淑娟祝文段为梁
- 关键词：微观结构
