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掺硅类金刚石薄膜的制备与表征: 利用射频等离子增强化学气相沉积(R.F.PECVD)与非平衡磁控溅射相结合的技术,通过调节甲烷与氩气的比例,在不锈钢片上制备了一系列硅含量不同的掺硅类金刚石(Si-DLC)薄膜。通过XPS谱图获得了各Si-DLC薄膜的化...; 赵飞李红轩吉利权伟龙周惠娣陈建敏; 关键词：水环境; 文献传递

掺硅类金刚石薄膜的制备与表征被引量：7: 2010年; 利用射频等离子增强化学气相沉积(R.F.PECVD)与非平衡磁控溅射相结合的技术,通过调节甲烷与氩气的比例,在不锈钢基底上制备了一系列硅含量不同的掺硅类金刚石(Si–DLC)薄膜。通过XPS谱图获得了各Si–DLC薄膜的化学组成及Si元素的相对含量。采用非接触式三维轮廓仪测量了薄膜的表面形貌、粗糙度和厚度。采用纳米压痕技术获得了各薄膜的纳米硬度。在UMT–2MT摩擦试验机采用划痕法评价了各薄膜的结合强度,并在CSM摩擦试验机上考察了各薄膜在空气及水环境下的摩擦学性能。结果表明,各薄膜的纳米硬度和结合强度有相似的变化规律,其最佳值均出现在CH4/Ar=5/6处;而当CH4/Ar=7/6时,薄膜在水环境下的摩擦学性能能得到显著提高,摩擦因数仅为0.012。; 赵飞李红轩吉利权伟龙周惠娣陈建敏; 关键词：水环境

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国家自然科学基金(5070509350575217)