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福建省教育厅科技项目(JB04042)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：林丽华于映杨尊先李昕欣更多>>
相关机构：福州大学中国科学院更多>>
发文基金：福建省教育厅科技项目国家自然科学基金福建省自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇阵列
  • 1篇数据存储
  • 1篇硅基

机构

  • 1篇福州大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇李昕欣
  • 1篇杨尊先
  • 1篇于映
  • 1篇林丽华

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于NEMS技术的硅基纳机电探针阵列器件研究被引量：3
2005年
进行一种用于高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研究。并采用理论计算和有限元模拟相结合方法对器件进行了设计;使用先进的微纳加工工艺技术将压阻敏感器和电阻加热器集成到超薄悬臂梁—针尖结构纳机电探针阵列器件上,实现器件制作;随后,进行器件电热特性及其敏感特性测试,测试结果与模拟结果相吻合;借助于原子力学显微镜在聚合物有机薄膜上实现了数据写入,优化写入条件后,数据记录面密度达31.6 GB/in2。
杨尊先于映林丽华李昕欣
关键词：数据存储
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