国家自然科学基金(620276038)
- 作品数：3 被引量：24H指数：3
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- 发文基金：国家自然科学基金哈尔滨工业大学跨学科交叉性研究基金资助更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 集成微流体测控芯片的研制被引量：6
- 2006年
- 设计、研制了集成有微泵、微沟道、微流量传感器、温度传感器的微流体测控芯片.采用有限元软件ANSYS模拟分析了将其作为冷却芯片时微沟道的散热作用,分析确定了芯片上各元件的结构.该集成芯片为硅-玻璃结构,在硅片上,利用ICP法刻蚀无阀微泵泵体和微沟道;在7740玻璃片上,以溅射、剥离法制作微流量和温度传感器;图形精确对准后硅/玻璃以静电键合方法封接.无阀微泵采用压电元件驱动.测试结果表明:集成芯片具有冷却功能,循环水的流速最大可达25.4mm/s.
- 刘晓为王蔚田丽傅建奇陈小洁倪鹤南曾娟
- 关键词：微流体微泵微流量传感器温度传感器
- 一种新型压电式双向无阀微泵的研制被引量：14
- 2006年
- 采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式双向无阀微泵,泵的外形尺寸为30×14×3mm3,泵腔体体积约10mm3.通过大量试验测试,得到了泵压、流量与工作频率、波形、电压幅值之间的关系.当工作电压为110V、频率为40Hz时,微泵的正向最大泵压为120mm水柱,频率为50-90Hz时,最大流量70μl/min;当频率为35Hz时,微泵的反向最大泵压为70mm水柱,最大流量56μl/min.
- 王蔚田丽鲍志勇刘晓为王喜莲杨松涛
- 关键词：MEMS压电驱动性能分析
- 压电膜片的优化设计及在微泵中的应用被引量：7
- 2006年
- 压电驱动是微机械系统(MEMS)微执行器最有发展前途的驱动方式之一。该文采用ANSYS有限元软件对压电膜片结构参数和在微执行器上的装配方法进行了优化设计,得到PZT/Si,PZT/Cu压电膜片结构的优化数据,将其应用于有阀微泵的研制。经测试,微泵压电驱动效果与仿真结果一致,微泵背压可达836 Pa,流量达1.4 mL/min。
- 王蔚刘晓为陈伟平鲍志勇
- 关键词：仿真压电驱动膜片微泵
