浙江省科技厅项目(2009C31019)
- 作品数：3 被引量：6H指数：2
- 相关作者：刘盾邓乾发袁巨龙姚蔚峰李振更多>>
- 相关机构：浙江工业大学教育部更多>>
- 发文基金：浙江省科技厅项目浙江省大学生科技创新活动计划(新苗人才计划)项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程更多>>
- 化学机械抛光垫沟槽形状的研究及展望被引量：2
- 2010年
- 在化学机械抛光过程中,沟槽形状是抛光垫性能的重要影响因素之一,它会直接影响抛光效果。本文介绍了化学机械抛光垫上沟槽的基本形状及其对抛光效果的影响,以及不同复合形状的抛光垫沟槽及其对抛光效果的影响,并就研究中现存的主要问题提出展望。
- 姚蔚峰邓乾发胡永亮范红伟刘盾袁巨龙
- 关键词：化学机械抛光抛光垫
- 化学机械抛光中抛光垫材料的研究与展望
- 2010年
- 在化学机械抛光中,抛光垫的材料是重要影响因素之一,它直接影响着抛光效果。本文介绍了化学机械抛光垫的基本材料、材料特性及其对抛光效果的影响,目前化学机械抛光加工中所采用的抛光垫材料及主要用途,对各种抛光垫材料在抛光过程中存在问题进行了分析,同时展望了抛光垫材料的发展趋势。
- 李振邓乾发郑晓锋刘盾王羽寅袁巨龙
- 关键词：化学机械抛光抛光垫
- 球度测量及其评定方法现状分析被引量：4
- 2010年
- 通过介绍国内外球度测量发展的现状,得出非接触测量在提高球度测量精度等方面优于接触式测量,球度的评定建立在测量基础之上。专家们在基于四种数学模型基础上提出了许多评定方法,同时随着进化算法的发展,出现了许多新型优化评定方法。袁巨龙等人提出了基于研磨轨迹均匀性的球度评定方法,间接而巧妙地对球度进行了评定。球度测量与评定将会朝着更高精度、高效率和低成本方向发展。
- 刘盾邓乾发李振王羽寅姚蔚峰袁巨龙
