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国家自然科学基金(60706010)

作品数：1 被引量：5H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇低电压
  • 1篇电压
  • 1篇压电
  • 1篇优化设计
  • 1篇执行器
  • 1篇微执行器
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇方华军
  • 1篇刘理天

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
压电折叠梁微执行器的低电压优化设计被引量：5
2008年
采用理论分析和有限元数值模拟相结合的方法,对压电折叠梁微执行器在低电压下工作时的器件结构进行优化设计。首先通过理论分析获得优化的器件结构参数,再通过有限元模拟验证理论分析结果。在器件设计中,通过综合考虑制造工艺、工作条件、器件应用的可靠性,对压电悬臂梁长度、单晶硅层厚度、折叠梁级数,以及工作电压进行折衷优化,获得低电压应用时最佳的器件参数。
方华军刘理天
关键词：MEMS压电微执行器
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共1页<1>
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