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辽宁省科学技术基金(20072183)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：韩冰峰褚金奎李涛熊叶胜更多>>
相关机构：大连理工大学更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”辽宁省科学技术基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇振动
  • 1篇微电源
  • 1篇环境振动
  • 1篇PZT
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇大连理工大学

作者

  • 1篇熊叶胜
  • 1篇李涛
  • 1篇褚金奎
  • 1篇韩冰峰

传媒

  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
收集环境振动能微压电悬臂梁的制作工艺与测试被引量：1
2011年
研制长寿稳定电源已经成为微型无线传感网络中亟待解决的关键技术问题,现有的化学电池容量有限,需要不断地逐个更换耗尽的电池,难以满足无线传感网络的实际应用.提出了利用压电材料的机电耦合特性收集环境振动能,设计了一种用来收集环境振动能的压电微悬臂梁结构,介绍了用MEMS工艺制作带质量块的硅基压电悬臂梁微电源的工艺流程.质量块可以降低器件的谐振频率,并提高输出电功率.最后,对制作的微压电悬臂梁进行了固有频率测试以及静态和准静态标定实验.
褚金奎李涛韩冰峰熊叶胜
关键词：微电源MEMSPZT
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