中国工程物理研究院科学技术发展基金(20111A0403017)
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 相关作者：彭勃施志贵张照云张慧高杨更多>>
- 相关机构：中国工程物理研究院电子工程研究所中国工程物理研究院更多>>
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- 相关领域：电子电信更多>>
- 金属电极的腐蚀特性研究
- 2012年
- 对金属电极的腐蚀特性进行了研究。实验中设计了多种不同的金属电极,通过改变电极材料、电极厚度、电极层数、腐蚀液成分及温度等条件,研究了金属电极的腐蚀特性。通过研究发现,电极的腐蚀特性跟电极材料、电极厚度、电极层数、电极的缺陷及应力、腐蚀液成分及温度等条件有关。最后设计了一种打底层金属材料为Tiw,层厚20 nm,上层金属为Au,层厚度为200 nm的金属电极,在覆盖一层光刻胶,并对光刻胶进行后烘坚膜的情况下,在常温下,用HF溶液腐蚀1 h后,SOIMEMS微结构完全释放,金属电极还十分完好。
- 张照云施志贵高杨席仕伟彭勃
- 关键词：微机械系统SOIMEMS湿法腐蚀金属电极
- 高性能微惯性器件单片集成技术被引量：1
- 2014年
- 讨论了高性能微惯性器件单片集成技术。首先对单片集成MEMS技术的优势及面临的困难进行了讨论,并对目前主流的单片集成MEMS技术特点、工艺流程进行了介绍,最后,给出高性能微惯性器件单片集成技术的未来发展趋势。
- 张照云施志贵张慧彭勃
- 关键词：微机电系统单片集成
