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表面工程技术国家级重点实验室基金(914C540107090C54)
作品数:
1
被引量:6
H指数:1
相关作者:
盖志刚
陈焘
罗崇泰
张平
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相关机构:
中国科学院兰州物理研究所
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发文基金:
表面工程技术国家级重点实验室基金
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中国科学院兰...
作者
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陈焘
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张平
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董茂进
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李晨
1篇
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盖志刚
传媒
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真空与低温
年份
1篇
2011
1篇
2010
1篇
2009
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碳化硅薄膜制备方法及光学性能的研究进展
被引量:6
2009年
碳化硅薄膜有密度小、热导率高、热膨胀系数低、硬度高等优异的性能。介绍了制备碳化硅薄膜的2种常用方法,即化学气相沉积和磁控溅射技术,比较了2种方法的各自优势。总结了碳化硅薄膜光学性能及短波发光特性的研究进展。
张平
罗崇泰
陈焘
盖志刚
关键词:
碳化硅薄膜
化学气相沉积
磁控溅射
光学性能
薄膜热敏电阻的研究进展
电子信息技术的发展对电子元器件提出小型化、集成化的要求,薄膜热敏电阻的研究受到人们的重视。本文就薄膜热敏电阻的最新发展,包括薄膜热敏电阻的制备工艺,电阻温度系数、响应时间等作了综述;并对柔性基底薄膜热敏电阻、红外探测用薄...
董茂进
陈焘
关键词:
热敏电阻
电阻温度系数
文献传递
硅碳氧薄膜光学性能研究
硅碳氧(SiCO)薄膜是一种三元玻璃状化合物材料,具有热稳定性好、能带宽、折射率大、硬度高等特性,是一种具有潜在应用价值的新颖光学薄膜材料。本文采用射频磁控溅射技术在Si (100)及K9玻璃上制备了硅碳氧薄膜。利用椭圆...
李晨
陈焘
王多书
张平
关键词:
光学性能
文献传递
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