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国家科技重大专项(2009ZX02025-1)
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宁文果
朱春生
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徐高卫
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徐高卫
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片级 封装结构 子层 湿法腐蚀 电镀
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所获资助
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朱春生
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:子层 布线 钝化层 电镀铜 掩膜
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李珩
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:布线 聚酰亚胺 纳米孪晶 湿度传感器 光刻技术
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宁文果
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:聚酰亚胺 子层 电镀铜 湿度传感器 圆片
发表作品
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供职机构
所获资助
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罗乐
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
发表作品
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所获资助
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