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国家科技重大专项(2009ZX02025-1)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：宁文果朱春生李珩罗乐徐高卫更多>>
相关机构：中国科学院大学中国科学院更多>>
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地区

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共 5 条 记 录，以下是 1-5
徐高卫
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：圆片级 封装结构 子层 湿法腐蚀 电镀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱春生
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：子层 布线 钝化层 电镀铜 掩膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李珩
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：布线 聚酰亚胺 纳米孪晶 湿度传感器 光刻技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宁文果
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：聚酰亚胺 子层 电镀铜 湿度传感器 圆片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗乐
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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