苏州大学信息光学工程研究所
- 作品数：174 被引量：576H指数：12
- 相关作者：朱亚一陆志伟邵洁周云解剑峰更多>>
- 相关机构：苏州科技学院数理学院苏州市职业大学电子信息工程系浙江师范大学数理与信息工程学院信息光学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划江苏省高技术研究计划项目更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 低陡度光刻胶光栅槽形研究被引量：5
- 2008年
- 为控制全息光刻胶光栅槽形,从研究显影时间、显影液温度等对光刻胶特性曲线的影响出发,采用计算机模拟和实验方法,制作出底部占宽比30%左右,陡度65°左右的低陡度光刻胶光栅掩模.研究发现:启动曝光量随显影时间的延长而减小,光刻胶特性曲线线性部分的斜率随着显影时间的增加而增加;显影液温度高的光刻胶启动曝光量大,其特性曲线线性部分的斜率也较大.这决定了制作低陡度光刻胶光栅掩模需要使用非1∶1的干涉曝光,以及必须采用较低温度的显影液进行显影处理.最终选用1∶7的干涉曝光和15℃的显影液.
- 刘全万华吴建宏陈新荣李朝明
- 关键词：衍射光学全息
- 用平凸透镜制作大口径光栅的像差分析被引量：4
- 2007年
- 分析使用两个对称的单平凸透镜光路制作光栅并用MATLAB编写光线追迹程序分析了所制作的光栅的衍射波像差的特点,经计算得出在较小焦比D/F情况下其衍射波像差仅与两支光路点光源的调节偏差之差有关与单独的各个偏差无关;初级像差中球差很小几乎可忽略:彗差仅与垂轴调节偏差之差成线性关系;像散仅与轴向调节偏差之差成正比;且当平凸透镜的焦比D/F增大时,各像差项迅速增大。点光源调节偏差一致时的衍射波像差随着系统的焦比D/F增大而迅速增大,并分析了当透镜的焦比D/F一定时,透镜的焦距与所制作的光栅的空间频率对衍射波像差的影响。
- 王诗华吴建宏李朝明陈刚
- 关键词：平凸透镜光栅像差
- 全息光栅光刻胶掩模槽形演化及其规律研究被引量：6
- 2008年
- 为了控制全息光栅光刻胶掩模槽形,运用曝光模型和显影模型模拟了掩模的槽形形成过程和变化规律。实验对比了不同曝光量,不同显影浓度,不同空频条件下的掩模槽形,特别是占宽比(光栅齿宽度与光栅周期的比)的情况。实验结果表明,实际槽形与模拟槽形很接近。模拟和实验均发现,在大曝光量、高浓度显影、高空频的光栅条件下所得槽形占宽比较小,槽深主要由原始胶厚决定。
- 陈刚吴建宏刘全
- 关键词：衍射光栅
- 介质膜光栅槽形无损检测方法的研究被引量：4
- 2005年
- 为了从理论上探究介质膜基底光刻胶光栅掩模槽形的检测方法,对此种光栅掩模建立了以C方法为理论基础的衍射效率理论计算的数学模型,并将从实际光栅掩模的SEM照片得出的光栅槽形参数带入到该模型中,得到了一系列-1级衍射光的光谱分布曲线,这些曲线的变化趋势与一定光栅槽形相对应,提出了通过测量衍射光的光谱分布曲线判断光栅槽形的无损检测方法。分析表明,该方法在光栅槽形的检测过程中,可以较为有效地判断光刻胶是否到底,而这一点在掩模的制作工艺中至关重要。
- 陈新荣耿康吴建宏
- 关键词：光栅多层介质膜脉冲压缩
- Golay3望远镜系统的倾斜误差被引量：2
- 2012年
- 阐述了Golay3望远镜系统入射光瞳的结构与主镜F数的关系,通过入瞳函数推导出子镜具有倾斜误差的系统点扩展函数(PSF)和调制传递函数(MTF)表达形式,利用Matlab软件模拟了子镜倾斜误差对系统PSF和MTF的影响。利用Zemax软件设计了Golay3望远镜系统,通过对系统中子镜引入倾斜误差得到了系统的PSF和MTF并与上述理论模拟结果进行了比较。以标准鉴别率板为物体进行模拟成像,分析了倾斜误差对望远镜成像性能的影响。设计结果表明:理论模拟和实例设计的PSF和MTF对倾斜误差的反应一致且比较敏感;当倾斜误差引起的波面倾斜峰谷值变化达到一个波长时,PSF和MTF的主瓣和旁瓣均发生较明显的变化,变化的方向取决于引入倾斜误差的子镜位置;而当波面倾斜峰谷值变化超过一个波长时,PSF和MTF的变化趋势基本保持不变;成像结果表明随着水平方向上的子镜倾斜误差的增加,鉴别率板竖直方向上可分辨的最大线对数变化明显。
- 范君柳王军吴泉英王福亮沈婷婷臧涛成
- 关键词：信息光学
- 倾斜多焦点Fresnel二元光学元件的优化方法被引量：2
- 2005年
- 研究了近场Fresnel条件下,具有纵向多焦点的二元光学元件的设计和优化方法。提出在Fresnel衍射近似下,实现了采用倾斜像面多焦点衍射元件的一步优化,得到了衍射光学元件的一般性优化算法。在迭代傅立叶算法的基础上,用改进的迭代傅立叶算法不仅获得更高的衍射效率(提高近3%),同时,明显改善了采用一般迭代傅立叶算法对不同焦点分布(不同倾斜角)下的不稳定性。与分步优化多焦点算法进行了比较,并用MATLAB 编程计算得到所提出的方法,不仅算法速度快,同时衍射效率也更高。
- 凌卫锋陈林森高永锋
- 关键词：二元光学衍射
- 反射全息滤光片调谐性能的研究被引量：2
- 2002年
- 从理论和实验对非均匀反射全息滤光片的调谐性能进行了研究 ,结果表明反射全息滤光片不仅具有高光密度 (大于 4 D)和窄带宽 ,还具有很好的调谐性能 ;同时对均匀介质和非均匀介质耦合波理论模型进行了比较分析 。
- 游善红李新碗吴建宏殷宗敏唐敏学
- 关键词：非均匀
- 计算彩色彩虹全息术颜色复现机理分析被引量：4
- 2012年
- 基于颜色传递和匹配原理,讨论了彩色计算全息色系和计算机显示色系下颜色量的一般转换关系,同时研究了计算全息物光波振幅和其对应的颜色量之间的等色传递问题,建立了计算全息物光波振幅与计算机显示色系下颜色量之间所应满足的关系。在此基础上对计算彩色彩虹全息术颜色复现机理进行了详细的讨论,给出了计算彩色彩虹全息术颜色复现时的三原色。
- 施逸乐王辉吴琼李勇金洪震
- 关键词：全息彩色全息全息显示色度学
- 矢量化光学可变图像的生成和应用
- 2004年
- 本文提出一种生成数字化光学可变图象的新方法--矢量拟合。介绍了多项式最小二乘法在曲线矢量化中应 用,该方法具有处理曲线不变形的优点,分析了具体生成光学可变图象的方法,最后给出了设计实例。
- 邵洁陈林森解剑峰
- 关键词：矢量化图像图象最小二乘法光学多项式
- 锯齿槽闪耀光栅制作误差对衍射效率的影响被引量：2
- 2013年
- 与矩形槽和正弦槽光栅相比,锯齿槽光栅具有高的衍射效率,可采用全息离子束刻蚀和单点金刚石车削两种方法制造。首先,介绍了这两种方法的制造误差。然后,分析了这些制造误差对用于可见近红外和长波红外成像光谱仪的光栅衍射效率的影响,指出闪耀角误差、槽顶角误差和刻刀圆弧半径是影响锯齿槽光栅衍射效率的关键因素。为制作高质量成像光谱仪用光栅奠定了理论基础和指导。
- 葛建平沈为民刘全陈明辉
- 关键词：单点金刚石车削衍射效率
