西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
- 作品数：47 被引量：99H指数：5
- 相关机构：中国科学院光电技术研究所陕西科技大学机电工程学院更多>>
- 发文基金：陕西省自然科学基金国防基础科研计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- FFT动态相位重建算法的滤波窗影响分析被引量：3
- 2020年
- 为了优化相位重建算法,针对波面干涉图的傅里叶频谱,分析了不同滤波窗口的分布特征和频谱响应,通过计算机仿真和实验测试,确定了FFT动态相位重建算法的最佳滤波窗口类型。其中处理仿真干涉图重建的波面与原始波面的波面峰谷值残差为0.0085λ,波面均方根值残差为0.0001λ;处理实验干涉图获得的波面与移相干涉测量法获得的波面峰谷值残差为0.0093λ,波面均方根值残差为0.0005λ。结果表明:选取Hamming窗进行滤波处理并重建的相位经拟合后得到的波面较参考波面的面形残差最小,相位重建精度优于0.01λ,可进一步应用于大口径光学元件的测量中。
- 陈瑜潘永强刘丙才田爱玲
- 关键词：光学元件傅里叶变换移相干涉图
- 数字闭环光纤陀螺的无纹波最小拍控制
- 2023年
- 针对数字闭环光纤陀螺控制系统采样频率抖动引起的输出纹波现象,基于离散控制系统理论建立了四态方波调制下数字闭环光纤陀螺的理论模型。研究了控制系统的稳定条件、稳态误差和频率响应特性,提出了数字闭环光纤陀螺无纹波最小拍控制方案。通过实验与原有控制系统进行对比,结果表明,无纹波最小拍控制有效消除了数字闭环光纤陀螺控制系统中采样频率抖动引起的输出纹波现象,并有效提高了数字闭环光纤陀螺的精度,零偏稳定性提高约30%。
- 徐金涛田爱玲
- 关键词：光纤光学光纤陀螺
- 荧光显微立体成像测量光学元件亚表面损伤深度被引量：4
- 2021年
- 光学元件亚表面损伤直接影响光学系统激光损伤阈值,损伤深度是衡量亚表面损伤的关键参数之一,目前尚无成熟的快速定量测量方法。基于荧光显微立体成像技术提出一种损伤深度测量方法。首先,在光学元件加工过程中利用量子点对亚表面损伤进行标记;当激光束以一定角度入射光学元件表面时,标记量子点会受激产生荧光;通过荧光相机对损伤层纵向分布的荧光信号进行显微立体成像,根据成像原理和结构参数计算荧光分布深度,实现光学元件亚表面损伤深度的快速定量测量。通过光学胶和甩胶工艺制备了系列标准件,并开展对比验证测量实验,结果表明所提方法针对损伤深度55~75μm,测量相对误差小于8%。
- 邱啸天田爱玲王大森朱学亮刘丙才王红军
- 关键词：光学元件立体成像量子点
- Zernike多项式的条纹反射三维面形重建算法研究被引量：2
- 2019年
- 针对光学镜面测量中的面形重构问题,提出了一种基于Zernike正交多项式的面形重建方法。通过理论推导建立了面形重建数学模型;利用Matlab仿真模拟,分析了Zernike项数与采样点数的关系,研究了不同项数及采样点数对重建结果的影响;以双曲面为例进行了算法的有效性验证,给出了重建后面形的36项Zernike系数;最后对算法进行了噪声等级变化分析。研究结果表明:对于一个初始面形峰谷值(PV)为0.007 5 mm,均方根值(RMS)为0.001 1 mm的双曲面,选择Zernike前36项系数、采样点数为300时,拟合面形残差PV=2.664 5e-15 mm,RMS=4.661 6e-16 mm,拟合效果较好,且当噪声在15%以内,算法适用性较好。研究结果为后续复杂镜面条纹反射测量提供参考。
- 韩路田爱玲聂凤明刘丙才刘卫国
- 关键词：三维面形测量ZERNIKE多项式
- 飞切加工KDP晶体的工艺研究被引量：2
- 2020年
- KDP晶体在惯性约束核聚变光学系统中具有十分重要的作用,针对如何制造出满足应用要求的KDP晶体元件仍然是一个难点的问题。进行了采用飞切加工技术对KDP晶体平面元件的加工工艺研究。介绍了飞切加工的技术原理,以及影响表面粗糙度的因素;通过相应的工艺实验,对KDP晶体加工检测过程中可能影响表面粗糙度的各个因素进行了研究。实验结果表明:金刚石刀具参数、加工参数、以及加工后表面清洁方式都会影响表面粗糙度,但是金刚石刀具参数对表面粗糙度的影响最大。采用前角为-45°、圆弧半径为5.0mm的金刚石刀具,以及最优的加工参数,可以获得表面粗糙度Sa优于1nm的超光滑表面。研究结果对飞切加工KDP晶体平面元件提供了有效的工艺方案,具有广泛的工程应用价值。
- 王守义刘卫国李世杰惠迎雪周顺冯瑶
- 关键词：KDP晶体表面粗糙度
- 一种高精度激光吸收率测量装置被引量：4
- 2016年
- 针对现有激光吸收率测量的不足,在总结现有激光吸收率测量方法基础上,设计了一种积分球法激光吸收率测量装置。增加了导光管结构,并对光源进行了监测,对光束进行了调制。采用相关检测和同步采集等方法,有效地去除了背景噪声、探测器及检测电路噪声对测量的影响。并实验比较了安装导光管前后装置对样品吸收率的测量影响,并对多个样品进行实验。结果表明,对于样品反射率在10×10^(-6)~10 000×10^(-6)范围内,装置的测量误差可以达到±2%以内,实现了激光吸收率的高精度测量。
- 高爱华王少刚闫丽荣
- 关键词：积分球吸收率噪声导光管
- 基于稀疏子孔径的大口径准直波前评价
- 2022年
- 针对300 mm口径波长调谐干涉仪的准直波前,提出了基于稀疏子孔径的波前评价方法。该方法利用稀疏孔径的波前数据,构建均匀、等间隔的子孔径排布模型,运用同步拟合算法实现全口径准直波前的重构;通过数值计算分析子孔径间隔、子孔径大小对重构精度的变化规律,得到优化的子孔径排布方式;采用子孔径口径大小为10.8 mm、相邻子孔径中心间距为9.72 mm的优化子孔径排布对300 mm口径准直波前进行稀疏子孔径评价。仿真结果表明:优化后的稀疏子孔径评价波前残差峰谷值(peak valley,PV)为0.0016λ、残差均方根值(root meam square,RMS)为1.6893e−4λ。
- 万鑫田爱玲王大森刘丙才朱学亮王红军
- 关键词：波前重构
- 纳米光学表面加工缺陷高效检测技术被引量：1
- 2011年
- 纳米光学表面是指表面粗糙度均方根值在纳米尺度的光学表面,广泛应用于微电子领域以及光学仪器和装备领域。纳米光学表面加工缺陷主要有表面损伤和亚表层损伤两个方面;基于非接触式无损检测手段的优点,针对白光干涉技术和表面散射测量技术等进行原理分析,采用不同的工艺条件制备不同加工缺陷的测试样片,分别采用白光干涉仪、原子力显微镜和表面散射测量仪进行测量对比分析,实验结果表明白光干涉技术是进行表面粗糙度和亚表层损伤测量的有效手段,具有检测精度高、测量速度快以及对被测件无损伤等特点。
- 朱学亮杭凌侠田爱玲
- 石墨烯MIS结宽光谱光电特性的研究
- 2022年
- Ge基光电探测器具有独特的通信带宽响应特性和良好的CMOS工艺兼容性,在光电探测方面具有广阔的应用前景。但目前商用探测器的响应波段普遍局限在某一波段,难以满足多波段融合、小型化的探测需求。因此,通过在多层石墨烯和N型Ge之间引入薄的SiO_(2)界面层,制备了基于石墨烯金属-绝缘层-半导体(MIS)结的光电探测器,分析了SiO_(2)的厚度以及石墨烯层数对MIS结器件性能的影响,并测试了器件的光谱响应范围、电流-电压曲线、响应度、开关比等光电特性。结果表明,该器件在254~2200 nm波段内均有响应,在980 nm处的响应度和开关比达到峰值,分别为78.36 mA/W和1.74×10^(3),上升时间和下降时间分别为1 ms和3 ms。
- 李蓓蔡长龙梁海锋范飞虎屠奔
- 关键词：探测器石墨烯宽波段红外光电探测器
- 快刀伺服加工多通道滤光片阵列的间隔层模具
- 2022年
- 在目标探测识别系统中,采用多通道滤光片可以提高目标与背景的信噪比,从而实现对目标信号的精准探测。基于纳米压印的阵列结构多通道滤光片制造技术,对滤光片间隔层硬模具的表面精度和结构精度具有较高的要求。根据多光谱滤光片的设计结果,基于单点金刚石车床,采用快刀伺服加工方式,实现多通道滤光片间隔层模具的高精度制造。并采用白光干涉检测技术,对模具的表面形貌进行了检测。通过分析表明,对5×5阵列结构的多通道滤光片,其加工结果与设计值吻合良好,横向尺寸精度与纵向尺寸精度均优于5%,完全满足设计要求。该技术为多通道滤光片的大规模、批量化制造提供了技术支持,同时也为非周期阵列光学元件的制造提供一种有效的手段。
- 李世杰杨陈黄岳田梁海锋蔡长龙
