西安航空学院材料工程学院新材料研究所
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 相关作者：王妍更多>>
- 相关机构：西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室西北工业大学材料学院更多>>
- 发文基金：凝固技术国家重点实验室开放课题国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
- N2流量对脉冲溅射CrNx薄膜结构和耐蚀性的影响被引量：1
- 2018年
- 采用脉冲磁控溅射法在不同氮气流量下制备出CrN_x薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和电化学工作站对薄膜进行了系统分析,以研究氮气流量对其微观结构和耐蚀性的影响规律。结果表明:氮气流量较低时,薄膜的物相为Cr_2N^+CrN的复合相,当氮气流量增加至150sccm,物相转变为CrN单相;表面和截面形貌照片显示,随着氮气流量的增多,薄膜的表面粗糙度逐渐减小、致密度也得到改善。物相的变化和致密度的改善,使得腐蚀电流密度随氮气流量的增加而降低,即腐蚀速度逐渐减小,当氮气流量为150sccm时薄膜表现出最好的耐蚀性。
- 鲁媛媛丁旭罗甲文吴坤尧
- 关键词：微观结构耐蚀性
- 不同沉积速率下微晶硅薄膜的生长行为研究
- 2019年
- 鉴于微晶硅薄膜在沉积过程中先经历一个非晶过渡层才开始晶化的生长特点,试图通过降低薄膜的沉积速率来延长沉积原子在薄膜生长表面的扩散时间,以达到促进晶粒生长的目的。研究结果表明,反应气体气流量的减小可以有效降低薄膜的沉积速率;随着沉积速率的降低,薄膜的表面粗糙度明显减小,且其平均晶粒尺寸有所增大,通过HRTEM甚至能观察到尺寸在10nm以上的晶粒,说明沉积速率的降低对沉积粒子在薄膜生长表面的扩散过程有较大影响;另外,薄膜的少子寿命随着沉积速率的降低逐渐增大,这与薄膜结晶程度和平均晶粒尺寸的变化趋势一致,可见微观结构对电学性能起着决定作用。
- 鲁媛媛李贺军丁旭
- 关键词：微晶硅薄膜沉积速率微观结构表面形貌
- 类富勒烯碳基薄膜与Al2O3对偶球的摩擦学性能研究被引量：1
- 2017年
- 以甲烷(CH4)为前躯体,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在单晶硅基底表面制备类富勒烯纳米结构类金刚石薄膜(FL-C∶H)。采用高分辨透射电镜(HRTEM)、拉曼光谱仪(LABRAM)和多功能X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的结构进行表征;利用原位纳米力学测试系统、摩擦磨损试验机、三维轮廓仪和奥林巴斯STM6光学显微镜分析比较薄膜在不同摩擦时间阶段的摩擦行为及磨痕处硬度变化情况。实验结果表明,所制备的类金刚石薄膜具有类富勒烯纳米结构特征,在摩擦过程中并未发生石墨化,而是sp2键合结构减少,使得磨痕处的硬度随着摩擦时间的增加而增大。
- 吴坤尧宗彦旭赵更锐王妍丁旭
- 关键词：摩擦学性能
