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上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米/纳米加工技术国家级重点实验室: 作品数：14 被引量：47H指数：4; 相关作者：赵聪张佳骏更多>>; 相关机构：上海工程技术大学机械工程学院新疆大学物理科学与技术学院中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>; 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”上海市浦江人才计划项目更多>>; 相关领域：航空宇航科学技术自动化与计算机技术电子电信电气工程更多>>

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基于3D打印和丝网印刷制作的电化学微流控反应器及其在DNA四面体上的应用: 2023年; 为了能够实现快速、低成本的制作电化学微流控反应器,并将其用于电化学合成DNA四面体,利用纳米材料结合丝网印刷技术构建低成本的pH敏感电极,利用3D打印技术制作牺牲层管道以及框架结构用于快速构建带有盐桥的微反应池,并开发了微型恒电位控制电路。实验结果表明,基于TiO2与Co3O4的丝网印刷pH敏感电极可以对2~12的pH值进行敏感测量,并且可以通过在其与Ag/AgCl电极之间施加恒电位逆向调控溶液的pH值。将基于3D打印结合丝网印刷制作的电化学微流控反应器搭配微型恒电位控制电路用于电化学合成DNA四面体。实验结果表明,该系统可合成不同碱基长度20 bp、26 bp、37 bp的DNA四面体,时间为6 min,相比于传统热法合成DNA四面体需要30 min,时间大为缩短。该种制作工艺可应用于电化学合成DNA四面体,并具有微型化、集成化、低成本制作电化学微流控反应器的发展潜力。; 张武凯谢瑶靳聪刘沛川高月姜丁瑞张栩源李茜陈翔; 关键词：3D打印

基于FPGA的压电陀螺数字化检测电路设计被引量：3: 2016年; 针对压电微固体模态陀螺的信号采集与算法要求,设计了基于现场可编程门阵列(FPGA)的兼具高精度高采样频率的陀螺数字检测系统。介绍了该系统的原理与实现方法。FPGA主控芯片选择XC6SLX25,ADC选择AD7960芯片(18 bit,5MSPS)。经试验验证,制作的样机可以同时采集三路输出信号,并实时处理传给上位机显示。测得陀螺共振频率稳定在349.89 k Hz,上下波动范围8 Hz,参考端输出电压峰峰值的均方差为0.004 V。检测系统稳定,具有较高精度。研究的数字化检测电路能很好地应用于MEMS微陀螺检测信号的处理,提高MEMS微陀螺的稳定性和抗干扰性。; 李国斌吴校生; 关键词：压电陀螺现场可编程门阵列 FIR滤波

基于加权主成分分析和高斯混合模型的神经元峰电位分类被引量：3: 2020年; 通过加权主成分分析来对峰电位进行提取特征和降维,再利用高斯混合模型聚类算法对特征进行聚类,实现峰电位分类。采用开放的仿真数据和开放的实测数据分析验证算法的可行性和分类精度,并与主成分分析提取特征的高斯混合模型(GMM)聚类和加权主成分分析提取特征的K均值聚类2种方法进行了比较。仿真数据实验中,在噪声水平为0.05,0.10,0.15,0.20时,误分率分别为1.26%,1.43%,2.32%和3.37%,低于其他2种方法;实测数据实验中,恒河猴数据的平均J 3准则值为14.12,与其他2种方法相比,平均J 3准则值较大。; 剡笑田王明浩郭哲俊陈翔刘景全; 关键词：高斯混合模型

基于微多环谐振陀螺仪的馈通效应研究被引量：2: 2020年; 由SOI片制备的微多环谐振陀螺仪在测试过程中,不可避免地会引入馈通信号,而目前常用的差分检测馈通取消方式高度依赖微陀螺仪和检测电路的对称性,不能有效地消除馈通信号。针对此问题,提出了一种基于反相信号的馈通取消方案,通过在驱动和检测电极之间施加与馈通信号反相的信号,从而抵消馈通效应带来的干扰,该方法理论上可以在不降低驱动力的情况下将馈通信号完全取消。实验结果表明,该方法能有效消除馈通信号对电容检测的影响,谐振峰高度可提高约25倍。; 田梦雅张卫平谷留涛刘朝阳薛冰; 关键词：电容检测

仿昆扑翼微飞行器中压电驱动器的性能参数分析被引量：8: 2015年; 针对仿昆扑翼微飞行器中压电驱动器的使用要求,采用复合材料的层合板理论和将能量法与实验法相结合的方法,推导了压电驱动器的静态位移、阻力、等效质量、刚度和阻尼系数的计算公式,得到压电驱动器的二阶集总参数模型.驱动器位移测试结果表明,利用推导公式计算所得位移的理论值比实测值小.同时,利用传递函数绘制的伯德图所得压电驱动器共振频率为2.540kHz,与理论公式计算结果的误差仅为0.5%,从而验证了所建立计算模型的正确性.; 柴双双张卫平柯希俊邹阳张伟叶以楠张正胡楠吴凡陈文元; 关键词：压电驱动器

微电极阵列检测细胞电生理仿真与设计: 2015年; 测量细胞电生理信号的方法-微电极阵列检测技术,是指在微电极表面首先培养可兴奋性细胞,然后进行电信号的实时监测,该方法具有检测通道数多、无损伤性、响应速度快、制备工艺简单、可长期检测等优点。借助Stern双电层模型阐述了微电极-电解液界面的电化学过程,采用电路仿真软件Multisim构建了完整的细胞-微电极等效电路来定量分析电化学过程;对于等效电路中的物理量取不同的数值进行仿真,研究它们对信号大小的影响程度并基于此给出了具体的微电极参数设计方案;设计检测电路并进行仿真,验证该电路满足检测需求。构建出完整的电生理等效电路,给出微电极阵列参数设计方案,设计出检测电路,为进一步电生理测试中的MEMS加工制造和电路研制提供了参考。; 张佳骏王庆康胡克想; 关键词：微电极阵列检测电路

金属催化轴向解链法制备窄石墨烯纳米带被引量：1: 2020年; 窄石墨烯纳米带(GNR)因具有较大带隙使其在电子和光电器件中有广阔的应用前景。然而目前仍缺乏良好的方法来制备高质量、窄GNR。本文研发了一种过渡金属轴向解链单壁碳纳米管(SWCNT)制备窄的高质量GNR和GNR/SWCNT分子内异质结的方法。通过研究,获得了该方法解链SWCNT的最佳工艺,通过控制H 2流量能调节SWCNT的解链速率。窄GNR和GNR/SWCNT分子内异质结有望被用于下一代电子和光电器件。; 王锴周庆萍陈志刚陈由馨贺志岩江圣昊陈杰陈长鑫; 关键词：单壁碳纳米管石墨烯纳米带异质结

表面粗糙度对镍镀层结合性能的影响被引量：3: 2014年; 对玻璃基双层镍表面进行阳极活化以提高镍层之间的结合强度。阳极活化液组成和工艺条件为：NiCl2·6H2O 100 g/L,H3BO3 25 g/L,pH 4.0,温度45°C,阳极电流密度10~30 mA/cm2,时间5~15 min。研究了电流密度和处理时间对镍镀层表面形貌、孤岛结合力、表面粗糙度和界面结合强度的影响,探讨了双层镍表面粗糙度和界面结合强度的关系。结果表明,在30 mA/cm2下阳极活化10 min后,双层镍的界面结合强度为629.8 MPa,比盐酸活化试样高了近2倍。镍层表面粗糙度与界面结合强度之间有明显的对应关系,表面粗糙度越大,界面结合强度越高。采用阳极活化法可有效提高微机电系统微器件的可靠性。; 周玉凤刘瑞汪红; 关键词：微机电系统镍镀层表面粗糙度界面结合强度

FPGA控制DDS与AGC的精密信号发生系统研究被引量：10: 2019年; 信号频率分辨率和幅值分辨率是信号发生源性能好坏的重要指标。基于现场可编程门阵列(FPGA)的嵌入式系统,分别采用直接数字合成技术(DDS)和自动增益控制技术(AGC)实现了频率和幅值精密可调的信号发生系统。该信号发生源的频率由FPGA提供的频率控制字决定。信号发生源的信号幅值由AGC增益控制电压决定,FPGA通过控制DAC的输出模拟量改变增益控制电压。论文设计研究的信号发生系统频率分辨率可达0. 1 Hz,幅值分辨率达0. 1 V。; 王振瑜吴校生叔晟竹; 关键词：信号发生直接数字合成自动增益控制频率分辨率

压电式微固体模态谐振器电荷放大器负载效应的研究被引量：2: 2016年; 文中采用串联电阻的方法,解决了传统的阻抗分析仪很难满足共振激励需求的问题,研究一种具有特殊电压激励方式的压电式微固体模态谐振器等效电路。通过绘制压电谐振器的导纳圆图,分析并获得压电谐振器在共振频率附近的等效电路参数。通过比较有无电荷放大器作为负载接入压电谐振器的实验结果,发现带有电荷放大器的压电谐振器等效电路的谐振频率从346.119 k Hz降低至344.979 k Hz。得出结论:如果电荷放大器作用于压电谐振器负载端,应该关注它对谐振频率的影响。; 赵聪吴校生李国斌陈文元刘武崔峰张卫平; 关键词：电荷放大器谐振频率串联电阻

上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米/纳米加工技术国家级重点实验室

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