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沈阳芯源微电子设备股份有限公司

作品数：298 被引量：17H指数：2
相关机构：沈阳工业大学沈阳中北通磁科技股份有限公司沈阳航新非标设备制造有限公司更多>>
发文基金：中国人民解放军总装备部预研基金辽宁省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学化学工程更多>>

合作机构

文献类型

  • 258篇专利
  • 37篇期刊文章

领域

  • 61篇自动化与计算...
  • 45篇电子电信
  • 23篇文化科学
  • 8篇化学工程
  • 7篇金属学及工艺
  • 6篇电气工程
  • 5篇轻工技术与工...
  • 5篇环境科学与工...
  • 4篇经济管理
  • 4篇机械工程
  • 4篇交通运输工程
  • 3篇建筑科学
  • 3篇医药卫生
  • 2篇动力工程及工...
  • 1篇水利工程
  • 1篇农业科学
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 119篇晶圆
  • 66篇半导体
  • 47篇涂胶
  • 44篇光刻
  • 39篇光刻胶
  • 24篇半导体行业
  • 23篇基板
  • 21篇显影
  • 19篇片盒
  • 17篇制程
  • 16篇均匀性
  • 16篇机械手
  • 16篇夹持
  • 15篇感器
  • 15篇传感
  • 15篇传感器
  • 12篇排风
  • 12篇喷嘴
  • 12篇晶圆清洗
  • 11篇机器人

机构

  • 295篇沈阳芯源微电...
  • 7篇沈阳工业大学
  • 3篇沈阳中北通磁...
  • 1篇佛山科学技术...
  • 1篇大连理工大学
  • 1篇中国科学院金...
  • 1篇中国人民解放...
  • 1篇沈阳航新非标...
  • 1篇季华实验室
  • 1篇沈阳新宝能科...

作者

  • 6篇安辉
  • 6篇安跃军
  • 4篇韩颖
  • 4篇杨霞
  • 4篇薛丽萍
  • 1篇吴东江
  • 1篇李述军
  • 1篇吕伟杰
  • 1篇曹云东
  • 1篇马广义
  • 1篇牛方勇
  • 1篇刘旭

传媒

  • 7篇现代工业经济...
  • 4篇中国高新科技
  • 3篇中国设备工程
  • 3篇信息记录材料
  • 3篇电工技术
  • 3篇电机与控制应...
  • 2篇汽车测试报告
  • 2篇科学技术创新
  • 1篇今日制造与升...
  • 1篇河北农机
  • 1篇材料研究学报
  • 1篇航空制造技术
  • 1篇通讯世界
  • 1篇中小企业管理...
  • 1篇现代制造技术...
  • 1篇内燃机与配件
  • 1篇今日自动化
  • 1篇中国光学（中...

年份

  • 13篇2024
  • 99篇2023
  • 45篇2022
  • 49篇2021
  • 52篇2020
  • 37篇2019
共 298 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
带有图形用户界面的平板电脑（2）
1.本外观设计产品的名称：带有图形用户界面的平板电脑（2）。;2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于运行程序。;3.本外观设计产品的设计要点：在于产品屏幕中的图形用户界面内容。;4.最能表明设计要点的图片或照片：主...
苗涛徐春旭
一种基板夹持承载台
本发明属于半导体行业基板湿法处理领域，具体地说是一种基板夹持承载台，承载台上沿圆周方向分别安装有活动pin及固定pin，活动pin与固定pin均包括柱体及夹持块，固定pin的柱体固接在承载台上，活动pin的柱体转动安装在...
郑云龙张伟业
一种防止热传导的晶圆吸附装置
本发明属于半导体生产制造领域，具体地说是一种防止热传导的晶圆吸附装置，承片台的上表面分别设有内密封环及外密封环，内、外密封环之间形成环形的真空腔，内密封环的内部为常压腔；真空腔内设置有承片凸台，并在真空腔内的承片台上开设...
王若愚
文献传递
半导体基板加热装置、半导体设备及控温方法
本发明提供了一种半导体基板加热装置，包括加热腔体、主加热部、补偿控制部和至少一个温度补偿单元。在所述半导体基板加热装置的加热腔体内设置补偿控制部和若干温度补偿单元，所述补偿控制部的顶面与所述加热板的底面对应设置，设置于所...
孙元斌陈兴隆姜云鹤韩禹
基板清洗刷
本实用新型提供了一种基板清洗刷，属于半导体加工技术领域。本实用新型提供了一种基板清洗刷，清洗刷为旋转体，清洗刷沿其轴向按顺序设有的第一清洗面、第二清洗面和第三清洗面；第一清洗面和第三清洗面为锥面或弧面。本申请的基板清洗刷...
郝岩松张伟业郑云龙赵旭郭生洋
温湿度控制在半导体制程中的作用研究
2023年
结合温湿度控制在半导体工艺各流程中的重要性,论述了不同工艺步骤专用设备,对温湿度的控制的必要性,对所处的洁净室环境提出了更高要求。随着半导体制程进入纳米级,温湿度控制要求更精细化、智能化。确保半导体的质量和器件的性能,可以提高生产效率和减少生产成本。因此,在半导体工艺的设计和运行中,必须充分考虑温湿度控制这一因素。
王丽鹤张明松高晓旭
关键词：半导体设备模块化静电放电
晶圆的夹持翻转装置
本发明提供了一种晶圆的夹持翻转装置，包括支撑座、夹持机构和旋转传动机构；所述支撑座上设有第一通孔；所述夹持机构包括转动设于所述支撑座一侧的旋转安装板，所述旋转安装板上设有第二通孔，所述夹持机构还包括固定设于所述旋转安装板...
徐晓伟温海涛王金龙孙璞孙振聪
一种光刻胶烘烤工艺的加热单元装置
本发明属于半导体行业晶圆加热处理工艺技术领域，具体地说是一种光刻胶烘烤工艺的加热单元装置，包括装置机架、传递模块、升降模块、加热模块，还包括加热腔体及排风模块，加热腔体上靠近传递模块的一侧面开设有基板进入口，排风模块包括...
韩禹孙元斌王永洁刘硕毛旭光
一种湿处理流体回收装置
本发明涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种湿处理流体回收装置，包括设有流体调速装置的基座，该流体调速装置位于基座的中心处，还包括上固定回收槽、下固定回收槽、升降回收槽盖及若干层由外至内依次设置的升降回收槽，升降回收槽...
王本义王一刘迟关贺聲孙俊主
一种基板夹持承载台
本发明属于半导体行业基板湿法处理领域，具体的说是一种基板夹持承载台，包括电机、承载台、升降CUP及固定CUP，电机的输出端与承载台相连，电机外围设有固定CUP，固定CUP的外围设有可升降的升降CUP；承载台上沿圆周方向分...
苗涛郑云龙彭博李檀
文献传递
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