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湖南烁科晶磊半导体科技有限公司

作品数：17 被引量：1H指数：1
相关机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺化学工程更多>>

合作机构

文献类型

  • 15篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 11篇分子束
  • 11篇分子束外延
  • 7篇束流
  • 6篇坩埚
  • 4篇闸阀
  • 3篇快门
  • 2篇预处理
  • 2篇原位
  • 2篇内源
  • 2篇屏蔽筒
  • 2篇外筒
  • 2篇晶圆
  • 2篇可靠性
  • 2篇可移动
  • 2篇冷屏
  • 2篇冷却方法
  • 2篇关断
  • 2篇高可靠
  • 2篇高可靠性
  • 2篇超高真空

机构

  • 17篇湖南烁科晶磊...
  • 5篇中国电子科技...

传媒

  • 1篇电子工艺技术
  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 4篇2024
  • 3篇2023
  • 2篇2022
  • 8篇2021
共 17 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种用于超高真空系统的低温旋转样品架
本实用新型公开了一种用于超高真空系统的低温旋转样品架，包括冷却液循环室、轴承、转动部件、驱动机构以及用于固定样品的夹持部件，所述转动部件上设有所述夹持部件，所述驱动机构与所述转动部件相连，所述冷却液循环室与所述转动部件通...
杜鹏龚欣魏唯陈峰武付宏伟肖慧宁澍陈长平
文献传递
一种坩埚可移动的分子束外延用束源炉
本发明公开了一种坩埚可移动的分子束外延用束源炉，包括坩埚托架、安装法兰、设于安装法兰上侧的热屏蔽筒、设于安装法兰下侧的闸阀、设于闸阀下侧的外筒、以及用于带动坩埚托架在热屏蔽筒和外筒之间移动的升降驱动机构，所述热屏蔽筒内设...
杜鹏龚欣魏唯陈峰武王慧勇肖慧宁澍陈长平
文献传递
一种坩埚可移动的分子束外延用束源炉
本发明公开了一种坩埚可移动的分子束外延用束源炉，包括坩埚托架、安装法兰、设于安装法兰上侧的热屏蔽筒、设于安装法兰下侧的闸阀、设于闸阀下侧的外筒、以及用于带动坩埚托架在热屏蔽筒和外筒之间移动的升降驱动机构，所述热屏蔽筒内设...
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基于分子束外延的氧化镓器件结构的制造方法和应用
本发明公开了一种基于分子束外延的氧化镓器件结构的制造方法，包括以下步骤：采用分子束外延、电子束直写、电荷耦合刻蚀、金属磁控溅射及电子束蒸发法制备，先在未掺杂的Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>衬底上采...
陈丹旻吕文利孙勇陈峰武龚欣龚肖周亮
一种分子束外延源料原位预处理方法
本发明公开了一种分子束外延源料原位预处理方法，包括步骤：S1、坩埚下降至外筒内，关闭闸阀，外筒充气至大气压后卸下外筒，取下坩埚，将源料装入坩埚并盖上坩埚盖，将坩埚放回至坩埚托架上，将外筒重新连接至闸阀，外筒抽气至合适真空...
杜鹏龚欣魏唯陈峰武王慧勇肖慧宁澍陈长平
一种三状态分子束外延用束源炉快门
本发明公开了一种三状态分子束外延用束源炉快门，在具备束流开启与束流关断两种状态的基础上，新增第三种束源炉保护状态，处于束源炉保护状态的快门可以有效阻挡冷屏内壁上吸附的材料碎片掉落入束源炉中，具有可以保护束源炉内源料不受材...
杜鹏龚欣付宏伟魏唯陈峰武王慧勇肖慧宁澍陈长平
一种分子束外延源料冷却方法
本发明公开了一种分子束外延源料冷却方法，包括步骤：分子束外延工艺结束后，坩埚托架带动坩埚缓慢下降移出高温区间，使坩埚中的源料自下而上逐渐凝固，直至坩埚中的源料全部凝固。本发明具有操作简便，可在普通热蒸发源的基础上实现大容...
杜鹏龚欣陈长平魏唯陈峰武王慧勇肖慧宁澍
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一种分子束外延源料原位预处理方法
本发明公开了一种分子束外延源料原位预处理方法，包括步骤：S1、坩埚下降至外筒内，关闭闸阀，外筒充气至大气压后卸下外筒，取下坩埚，将源料装入坩埚并盖上坩埚盖，将坩埚放回至坩埚托架上，将外筒重新连接至闸阀，外筒抽气至合适真空...
杜鹏龚欣魏唯陈峰武王慧勇肖慧宁澍陈长平
文献传递
一种用于分子束外延设备的基片传输装置
本实用新型公开一种用于分子束外延设备的基片传输装置，包括：传输小车和磁耦合驱动组件，传输小车用于承载基片，磁耦合驱动组件包括相互匹配的主动磁组件和从动磁组件，从动磁组件沿着传输小车的移动方向设置在传输小车顶部，传输小车和...
王炳根魏唯龚欣付宏伟黄尧黄一轩程凯刘家强陈峰武李智
高性能分子束外延用束源炉的研制
2023年
介绍了国产分子束外延设备的最新研制进展,自主设计制造的标准束源炉、掺杂束源炉、砷阀控裂解源、磷阀控裂解源最高工作温度1300℃,控温精度优于±0.1℃,温度稳定性优于±0.1℃。并采用专利技术一种坩埚可伸缩的束源炉实现在不破坏生长室真空环境的前提下补充源料,有效减少停机时间,提高工艺效率。
龚欣陈峰武吕文利陈丹周亮龚肖
关键词：分子束外延
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共2页<12>
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