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北京智芯传感科技有限公司
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北京协同创新研究院
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张威
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李海斌
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石云波
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2024
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2023
14篇
2022
3篇
2020
7篇
2019
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一种量程自切换式流量计
本实用新型公开了一种量程自切换式流量计,包括流量测试模组A、流量测试模组B和切换模块;其中流量测试模组A由管道A、节流板A、MEMS差压传感器组成,流量测试模组B由管道B、节流板B、MEMS差压传感器组成,切换模块包括电...
周浩楠
赵晓东
陈广忠
张亚婷
一种高频响高灵敏度的压阻式加速度传感器
本发明公开了一种高频响高灵敏度的压阻式加速度传感器,包括上盖、支撑框架、敏感梁、质量块、压敏电阻和下盖。该结构设置四个敏感梁分别位于质量块的四个角,所述敏感梁短而宽,两端采用非对称结构,具体包括T形和Y形,其中短边连接质...
周浩楠
何长运
李宋
张亚婷
一种力传感器芯片及其制备方法
本发明提供了一种力传感器,包括MEMS力感应芯片、开口封外壳、金属球和柔性电路板;其中MEMS力感应芯片内置于开口封外壳内,力敏感区外露于开口位置;柔性电路板上分布有弹簧结构和焊盘,焊盘位于柔性电路板中心位置,与弹簧结构...
周浩楠
赵晓东
李宋
张亚婷
微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法,包括设备、试验环境样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。
张威
张亚婷
于振毅
陆学贵
朱悦
石云波
李海斌
程逸轩
周浩楠
陈得民
一种单片集成MEMS差压流量计及其制备方法
本发明提供了一种单片集成MEMS差压流量计及其制备方法。本发明的单片集成MEMS差压流量计包括:MEMS差压芯片,节流器和电极信号接口,其中MEMS差压芯片的内部集成应力感应薄膜,压阻式应力敏感电桥和应力腔;节流器与ME...
张威
赵晓东
周浩楠
文献传递
一种传感器及其制备方法
本发明实施例涉及一种传感器及其制备方法,所述传感器包括MEMS力传感器芯片、压力传导部件、传感器芯片容置体和弹性片;所述传感器芯片容置体用于容纳所述MEMS力传感器芯片,具有开口端;所述弹性片中部具有圆孔,弹性片固定连接...
张威
周浩楠
文献传递
一种倒装式力传感器阵列
本发明提供了一种倒装式力传感器阵列,包括阵列式MEMS力传感器和柔性电路板。阵列式MEMS力传感器由m×n个MEMS力传感器组成,其中m≥1,n≥1;MEMS力传感器,选用十字梁结构,由力感应薄膜、惠斯通敏感电桥、框架和...
周浩楠
赵晓东
陈广忠
张亚婷
一种传感器及其制备方法
本发明实施例涉及一种力传感器及其制备方法,所述力传感器包括MEMS力传感器芯片,所述芯片包括基底,基底的上表面具有凹槽,基底的上表面上设置有压力敏感层;所述压力敏感层包括边框和压力敏感梁;所述边框部分地或完全地围绕凹槽设...
张威
周浩楠
文献传递
一种预留装药室形式的桥膜式换能元封装结构
本发明提供了一种预留装药室形式的桥膜式换能元封装结构,涉及火工品领域。一种预留装药室形式的桥膜式换能元封装结构,包括:桥膜式换能元芯片通过导电银胶粘接在热沉层,桥膜式换能元芯片的换能区上方为预留装药室,电极和热沉层位于桥...
张威
张良
周浩楠
文献传递
一种差分电容压力传感器
本发明公开了一种差分电容式压力传感器,属于微电子技术领域。上下移动电极通过凸起圆柱体与承压薄膜连接,并分别与上下固定电极组成了可变电容,固定电极与承压薄膜之间通过环形绝缘层连接。本发明的压力传感器,通过差分电容结构,提高...
周浩楠
何长运
李宋
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