2024年7月24日
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松下环境空调工程技术株式会社
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8
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日本瑞环株式会社
尤尼吉可株式会社
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机构
8篇
松下环境空调...
4篇
日本瑞环株式...
2篇
尤尼吉可株式...
年份
1篇
2009
2篇
2007
2篇
2006
1篇
2004
1篇
2003
1篇
2001
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8
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催化剂组件和配有所述催化剂组件的废液处理装置
一种催化剂组件,其包含用于废液流入的通道及其用纤维活性炭形成的分隔壁,其中所述纤维活性炭具有附着于其上或包含于其中的催化剂,并且其中所述废液从通道内部通过分隔壁排出;上述催化剂组件具有为管束形式的多个上述通道;并且上述催...
山口典夫
河内昭典
文献传递
废溶剂的再生方法和装置
本发明涉及已用于溶解保持性树脂组分或者含有在半导体或液晶基体制造时分离在基体上的保护性树脂的过程中废弃的树脂组分的使用过的溶剂的再生方法,其中包括除去树脂组分、除去挥发性杂质如水并对溶剂进行精炼的步骤。首先进行除去树脂组...
五十岚轨雄
井上恭
山口典生
增田义登
川濑泰人
青岛芳芝
小田昭昌
文献传递
溶剂的回收装置及溶剂的回收方法
提供一种溶剂的回收装置及溶剂的回收方法,即使不补充电子级的溶剂,也可从抗蚀剂剥离工序所排出的废液中,回收高浓度的溶剂。一种溶剂的回收装置(1),是从抗蚀剂剥离工序所排出的废液(L)中回收溶剂的装置,包括:一树脂成分除去装...
川濑泰人
青岛芳之
山内阳一
水野直宏
小田昭昌
五十岚轨雄
增田义登
文献传递
溶剂的回收装置及溶剂的回收方法
提供一种溶剂的回收装置及溶剂的回收方法,即使不补充电子级的溶剂,也可从抗蚀剂剥离工序所排出的废液中,回收高浓度的溶剂。一种溶剂的回收装置(1),是从抗蚀剂剥离工序所排出的废液(L)中回收溶剂的装置,包括:一树脂成分除去装...
川濑泰人
青岛芳之
山内阳一
水野直宏
小田昭昌
五十岚轨雄
增田义登
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废溶剂的再生方法和装置
本发明涉及已用于溶解保持性树脂组分或者含有在半导体或液晶基体制造时分离在基体上的保护性树脂的过程中废弃的树脂组分的使用过的溶剂的再生方法,其中包括除去树脂组分、除去挥发性杂质如水并对溶剂进行精炼的步骤。首先进行除去树脂组...
五十岚轨雄
井上恭
山口典生
增田义登
川濑泰人
青岛芳芝
小田昭昌
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催化剂组件和配有所述催化剂组件的废液处理装置
一种催化剂组件,其包含用于废液流入的通道及其用纤维活性炭形成的分隔壁,其中所述纤维活性炭具有附着于其上或包含于其中的催化剂,并且其中所述废液从通道内部通过分隔壁排出;上述催化剂组件具有为管束形式的多个上述通道;并且上述催...
山口典夫
河内昭典
文献传递
有机废气的处理方法及装置
本发明提供可以实现从有机废气中对有机成份进行再利用和废弃处理这两方面的处理技术。具备:将有机气体进行冷却冷凝的第一冷却冷凝工序;对经过该第一冷却冷凝工序的废气进行冷却冷凝的第二冷却冷凝工序;对前述第一冷却冷凝工序的冷凝液...
爱甲雅彦
林和幸
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有机废气的处理方法及装置
本发明提供可以实现从有机废气中对有机成份进行再利用和废弃处理这两方面的处理技术。具备:将有机气体进行冷却冷凝的第一冷却冷凝工序;对经过该第一冷却冷凝工序的废气进行冷却冷凝的第二冷却冷凝工序;对前述第一冷却冷凝工序的冷凝液...
爱甲雅彦
林和幸
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