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武汉颐光科技有限公司

作品数：109 被引量：10H指数：2
相关机构：华中科技大学武汉华星光电半导体显示技术有限公司华南理工大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学电子电信更多>>

合作机构

文献类型

  • 98篇专利
  • 6篇会议论文
  • 4篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 21篇机械工程
  • 20篇自动化与计算...
  • 19篇理学
  • 11篇电子电信
  • 4篇文化科学
  • 2篇化学工程
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇电气工程
  • 1篇历史地理

主题

  • 37篇光谱
  • 33篇光学
  • 32篇椭偏仪
  • 21篇系统参数
  • 15篇膜厚
  • 15篇波长
  • 13篇椭偏测量
  • 12篇偏振
  • 11篇光谱仪
  • 11篇傅里叶系数
  • 10篇波段
  • 9篇校准方法
  • 9篇光学常数
  • 8篇电机
  • 8篇旋转补偿器
  • 8篇矩阵
  • 8篇光学薄膜
  • 8篇傅里叶
  • 7篇入射
  • 7篇波长校准

机构

  • 109篇武汉颐光科技...
  • 16篇华中科技大学
  • 1篇华南理工大学
  • 1篇武汉华星光电...

作者

  • 6篇刘世元
  • 5篇张传维
  • 3篇江浩
  • 2篇陈修国
  • 1篇杜卫超
  • 1篇陈伟
  • 1篇陈军
  • 1篇袁奎
  • 1篇陶泽
  • 1篇刘佳敏

传媒

  • 1篇物理学报
  • 1篇红外与毫米波...
  • 1篇激光技术
  • 1篇微纳电子与智...
  • 1篇第十六届全国...

年份

  • 12篇2024
  • 36篇2023
  • 15篇2022
  • 8篇2021
  • 12篇2020
  • 6篇2019
  • 2篇2018
  • 7篇2017
  • 8篇2016
  • 3篇2015
共 109 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于液晶调相的垂直物镜式穆勒矩阵成像椭偏仪
本发明属于纳米尺度下几何参数测量装置领域，并公开了基于液晶调相的垂直物镜式穆勒矩阵成像椭偏仪，包括起偏光路单元和检偏光路单元，所述起偏光路单元，用于将外部光源模块出射的光束进行偏振态调制后得到偏振态的光束，再将偏振态的光...
陈修国陈军陈超刘世元
一种复合波片相位延迟器优化设计方法
本发明公开了一种复合波片相位延迟器优化设计方法，包括以下步骤：1)由n个四分之一零级波片共同构成复合波片相位延迟器；2)确定每个四分之一零级波片的中心波长及光轴方位角的变动范围；3)获得第k个四分之一零级波片的传输琼斯矩...
江浩刘世元谷洪刚张传维
一种宽光谱扫描式膜厚检测光路系统
本发明提供一种宽光谱扫描式膜厚检测光路系统，包括依次光路连接的光谱扫描光路、Y型分叉光纤和照明光路；光谱扫描光路输出不同波长的单色光；Y型分叉光纤向照明光路输出不同波长的单色光，并接收样品表面反射光，并将样品反射光输出，...
杨长英李江辉张正华李伟奇张传维何勇薛小汝
一种单旋转补偿器光谱型椭偏仪系统控制方法
本发明涉及一种单旋转补偿器光谱型椭偏仪系统控制方法，包括：步骤1、时钟电路同时输出驱动脉冲以及触发脉冲，驱动脉冲用于驱动电机，触发脉冲用于触发光谱仪，触发脉冲的周期与电机的转动周期相同；步骤2、采集校准时刻编码器输出脉冲...
郭春付蒲俊鹏陈军张传维李伟奇刘世元
一种光谱椭偏测量带宽和数值孔径退偏效应修正建模方法及装置
本发明涉及一种光谱椭偏测量带宽和数值孔径退偏效应修正建模方法及装置。通过穆勒矩阵椭偏仪测量，一次获得待测样品的全部穆勒矩阵元素，进而获得样品的退偏信息。通过合理假设带宽和数值孔径的分布函数，组合不同的分布下的节点和权重累...
张传维刘贤熠郭春付李伟奇刘世元
文献传递
一种六通道分振幅高速斯托克斯偏振仪及其参数测量方法
本发明公开了一种六通道分振幅高速斯托克斯偏振仪及其测量方法；依照斯托克斯向量定义开展斯托克斯参数的同步测量，测量结果与仪器矩阵无关，仪器操作极其简便；仪器既可测量完全偏振光，又可测量部分偏振光；测量速度快且时间分辨率高，...
江浩陈伟刘佳敏刘世元张传维
文献传递
一种光谱仪的波长校准方法
本发明提供一种光谱仪的波长校准方法，包括：基于光谱仪采集光源的全光谱光强；根据多个理论特征峰波长，在全光谱光强上找到每个理论特征峰波长附近范围内的最大光强，并获取最大光强邻域内的所有光强；根据每一个邻域内的所有光强对应的...
刘亚鼎王瑞陈军项雅波江攀王小康
一种薄膜厚度提取方法及系统
本发明提供一种薄膜厚度提取方法及系统，该方法包括：获取待测样件的测量光谱；确定样件膜系结构和每一层膜的光学常数；通过参数分离对正向模型进行分解，离线进行薄膜厚度无关的矩阵相乘运算；在线进行薄膜厚度相关的矩阵运算，得到仿真...
石雅婷郭春付李江辉李伟奇张传维
一种椭偏仪微光斑校准方法
本发明涉及一种椭偏仪微光斑效应校准方法，包括：S1，选利用椭偏仪测量获得选定的标准测量样件的周期性光强信号；S2，在全波段内选取某一段作为分析波段，基于椭偏仪系统模型，调整微光斑相位差，获得膜厚和入射角方差随微光斑相位差...
石雅婷薛小汝李伟奇郭春付何勇张传维
一种光学测量仪器的系统参数优化配置方法及装置
本发明提供一种光学测量仪器的系统参数优化配置方法及装置，方法包括：获取标准样件在光学测量仪器中特定波长的光强信息；基于光强信息和标准样件在特定波长的反射率和穆勒矩阵，迭代拟合得到等效光源强度；根据等效光源强度和光学测量仪...
石雅婷刘亚鼎李伟奇郭春付张传维薛小汝何勇
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