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中山市博顿光电科技有限公司

作品数：205 被引量：3H指数：1
相关机构：佛山市博顿光电科技有限公司中山市北京理工大学研究院中山火炬职业技术学院更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术金属学及工艺更多>>

合作机构

文献类型

  • 193篇专利
  • 7篇会议论文
  • 3篇标准
  • 2篇期刊文章

领域

  • 25篇电子电信
  • 24篇自动化与计算...
  • 13篇一般工业技术
  • 7篇化学工程
  • 7篇金属学及工艺
  • 5篇电气工程
  • 5篇文化科学
  • 4篇理学
  • 3篇核科学技术
  • 2篇经济管理
  • 1篇机械工程
  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 74篇离子
  • 63篇离子源
  • 40篇镀膜
  • 32篇真空镀膜
  • 30篇镀膜机
  • 23篇真空镀膜机
  • 22篇电离
  • 22篇射频
  • 20篇射频线圈
  • 18篇靶材
  • 16篇真空
  • 15篇溅射
  • 14篇电源
  • 13篇阴极
  • 13篇栅网
  • 13篇离子束
  • 12篇真空设备
  • 11篇工作气体
  • 9篇底座
  • 8篇真空镀膜设备

机构

  • 205篇中山市博顿光...
  • 139篇佛山市博顿光...
  • 7篇中山市北京理...
  • 6篇中山火炬职业...
  • 3篇广东弘景光电...
  • 3篇中山凯旋真空...
  • 2篇华南理工大学
  • 1篇暨南大学
  • 1篇北京理工大学
  • 1篇同济大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院长...
  • 1篇沈阳仪表科学...
  • 1篇江苏北方湖光...
  • 1篇岭南师范学院
  • 1篇珠海光库科技...
  • 1篇深圳市杰普特...
  • 1篇中山市众盈光...
  • 1篇南京茂莱光学...
  • 1篇河源市众拓光...

作者

  • 3篇王丽荣
  • 3篇石澎

传媒

  • 2篇粤港澳大湾区...
  • 1篇光源与照明
  • 1篇光电技术应用

年份

  • 8篇2025
  • 38篇2024
  • 20篇2023
  • 36篇2022
  • 53篇2021
  • 26篇2020
  • 8篇2019
  • 6篇2018
  • 10篇2017
共 205 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
工艺控制方法、装置及工业控制系统
本申请涉及一种工艺控制方法、装置及工业控制系统，所述方法包括：接收设定数据交换格式的工艺流程文件；其中，所述工艺流程文件包括以结构化的数据格式描述的工艺流程的各个工序的执行内容；按工艺流程顺序对所述工艺流程文件进行遍历解...
冀鸣刘伟基林秀刚张军陈文俊易洪波郭一鸣赵刚易卓越
旋转夹具及真空镀膜设备
本申请涉及一种旋转夹具，用于真空镀膜设备，包括夹具盘、固定螺丝、悬挂活动球以及支撑座；其中，所述夹具盘的中心开设有一贯穿的吊挂通孔，所述支撑座为中空设计；所述支撑座嵌入夹具中心的吊挂通孔内，固定所述夹具盘；所述悬挂活动球...
刘伟基冀鸣赵刚易洪波吴秋生
电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机
本申请涉及一种电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机；电源模块，其特征在于，包括：控制模块、功率模块、通信模块和转接模块；其中，所述转接模块上设有交流输入端、直流输出端和电源通信端；所述电源通信端通过通信线连接至主...
刘伟基李浩峰冀鸣赵刚易洪波曾文华
离子源装置
本申请涉及一种离子源装置，包括：一霍尔离子源以及至少两个中空阴极；各个所述中空阴极设于距离所述霍尔离子源一设定位置处；各个所述中空阴极设计为所述霍尔离子源提供中和电子，且在其中任何一个中空阴极失效时，切换至其他中空阴极向...
刘伟基赵刚冀鸣易洪波
文献传递
靶材安装结构及真空镀膜机
本申请涉及一种靶材安装结构及真空镀膜机，靶材安装结构包括背板结构和固定装置，背板结构通过活动式的连接组件与固定装置进行连接；背板结构包括多块拼接的子背板；每个子背板的正面用于焊接对应形状的靶材；固定装置包括：支撑轴以及第...
刘伟基 冀鸣 蒋毅 易洪波 李宏盛 赵刚
射频多维度线圈半自动成型设备
本公开涉及一种射频多维度线圈半自动成型设备。射频多维度线圈半自动成型设备，包括：底座，设有成型槽体，所述成型槽体用于嵌入线圈以成型所述线圈；第一成型机构，包括定位件和第一推块，所述定位件和第一推块分别位于所述线圈的端部的...
吴秋生刘伟基邵立伟冀鸣黄毅黄德皇
镀膜机中基片位置的监测方法、装置、系统及镀膜机
本申请实施例提供了一种镀膜机中基片位置的监测方法、装置、系统及镀膜机。所述镀膜机中基片位置的监测方法包括：获取摄像装置采集到的场景图像；基于所述场景图像确定目标基片及所述目标基片的三维位置信息；在基于所述三维位置信息确定...
冀鸣易洪波刘伟基赵刚
离子源电场结构及离子源装置
本申请涉及一种离子源电场结构及离子源装置，离子源电场结构包括：包括设于外壳内的阳极部件，在所述阳极部件与外壳之间还设置有一个隔离金属层；所述隔离金属层为与所述阳极部件相对应的环形设计，与所述阳极部件和外壳保持绝缘状态；所...
刘伟基 冀鸣 赵刚 易洪波 吴秋生 刘运鸿
文献传递
旋转工件盘及真空设备
本申请涉及一种旋转工件盘及真空设备，所述旋转工件盘包括：支撑平台，连接在所述支撑平台两端的第一摆动轴和第二摆动轴；其中，所述支撑平台为U型结构设计，所述第一摆动轴和第二摆动轴分别连接到真空腔室两侧的外壳上；所述支撑平台上...
刘伟基吴秋生冀鸣易洪波
旋转夹具及真空镀膜设备
本申请涉及一种旋转夹具，用于真空镀膜设备，包括夹具盘、固定螺丝、悬挂活动球以及支撑座；其中，所述夹具盘的中心开设有一贯穿的吊挂通孔，所述支撑座为中空设计；所述支撑座嵌入夹具中心的吊挂通孔内，固定所述夹具盘；所述悬挂活动球...
刘伟基冀鸣赵刚易洪波吴秋生
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