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扬州晶新微电子有限公司
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硅PNP型高频小功率晶体管
硅PNP型高频小功率晶体管,包括P型衬底硅片(7),其中,该P型衬底硅片(7)的外表面形成有由三族元素中的任一种元素与金形成的合金复合层。本实用新型的硅PNP型高频小功率晶体管按一定比例将三族元素中的任一种,例如镓掺入纯...
张俊
张顺英
文献传递
一种半导体器件清洗控制系统
本实用新型属于半导体器件清洗技术领域,具体涉及一种半导体器件清洗控制系统。系统包括总开关、加热电路、开关电源,开关电源依次连接有开关组和排气阀组,排气阀组进气端连接有压空阀组件,排气阀组出气端连接有执行阀组,排气阀组控制...
夏昊
包晶
文献传递
一种硅二极管银凸点电极的制作设备
本实用新型属于半导体电镀技术领域,具体涉及一种硅二极管银凸点电极的制作设备。包括电镀槽、支撑装置、探针组、鼓液装置、电极板和电镀电源,所述支撑装置设置在电镀槽口,用于支撑待电镀的二极管芯片,所述鼓液装置和电极板均设置在所...
刘明
王慧
陈震
文献传递
集成电路2微米厚铝刻蚀工艺方法
集成电路2微米厚铝刻蚀工艺方法,属于半导体集成电路器件工艺制造的厚铝层刻蚀的技术领域。先采用高定向性的用干法等离子刻蚀机和刻蚀技术刻蚀厚铝层的大部分厚度,再采用后续的喷雾式湿法刻蚀以完成对厚铝层刻蚀的线条分辨率、彻底性、...
包琴凤
朱杰
文献传递
一种半导体器件芯片晶圆的划片方法
本发明属于半导体器件与集成电路制造技术领域,具体涉及一种半导体器件芯片晶圆的划片方法。主要适用于超小尺寸、超薄的半导体芯片晶圆的划片。本专利的有益效果是:本发明的划片方法,消除了划片切割时应力较大、划片过程中易出现崩边或...
刘明
刘佳
王慧
文献传递
一种用于肖特基二极管的正向压降测试电路
本实用新型属于二极管测试技术领域,尤其涉及一种用于肖特基二极管的正向压降测试电路。包括电源、恒流源模块、采样处理电路和显示电路,电源两端连接有待测管,恒流源模块串接在电源与待测管之间,用于给待测管提供指定电流,采样处理电...
陈广宏
文献传递
一种用于5吋硅晶圆片磷预扩散的石英舟
一种用于5吋硅晶圆片磷预扩散的石英舟,属于半导体硅器件扩散工艺用工装具。包括舟体,其特征是,舟体由四个舟节串联而成,每个舟节包括四根石英棒以及石英支撑架,四根石英棒平行而置,石英棒两端分别烧结在石英支撑架上,四根石英棒在...
李建林
张春风
文献传递
一种载舟器
本实用新型公开了半导体器件芯片制造技术领域的一种载舟器,该载舟器包括:一底座板,底座板两侧相对设置有凹槽一;二外限位块,分别相对可拆卸安装于两个凹槽一的外侧,两个外限位块相对侧设置有卡口一,卡口一适配碳化硅舟底部;二内限...
汤善成
王雨
刘美蓉
一种硅二极管银凸点电极的制作设备及制作方法
本发明属于半导体电镀技术领域,具体涉及一种硅二极管银凸点电极的制作设备及制作方法。包括电镀槽、支撑装置、探针组、鼓液装置、电极板和电镀电源,所述支撑装置设置在电镀槽口,用于支撑待电镀的二极管芯片,所述鼓液装置和电极板均设...
陈震
刘明
王慧
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一种离子注入机的冷却系统
本实用新型属于半导体器件芯片制造设备技术领域,尤其涉及一种离子注入机的冷却系统。其包括:循环回路,连接于离子注入机的待冷却部件两端,循环回路包括次串接的水箱、水泵及热交换器,循环回路中循环介质为纯水;第一过滤器串接于循环...
吕建荣
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