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浙江金瑞泓科技股份有限公司
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有色金属技术经济研究院
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杨德仁
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马向阳
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梁兴勃
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赵剑
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田达晰
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2016
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2015
7篇
2014
5篇
2013
16篇
2012
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硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法
本标准规定了硅片翘曲度的非破坏性、自动非接触扫描测试方法。 本标准适用于直径不小于50 mm,厚度不小于100的洁净、干燥的切割、研磨、腐蚀、拋光、刻蚀、外延或其他表面状态硅片的翘曲度测试。本方法可用于监控因热效应(或)...
孙燕
何宇
徐新华
王飞尧
张海英
楼春兰
向兴龙
关键词:
地震检波器
地震
检波器
一种带超声或兆声振子的异丙醇干燥机
本实用新型公开了一种带超声或兆声振子的异丙醇干燥机。它包括喷嘴、盖子、溢流槽、支撑架、水槽、振子、进气管,方形水槽的上端边沿为溢流槽,在水槽内下部安装有支撑架,超声或兆声振子粘接在水槽的底部下方,水槽的上端安装有盖子,盖...
田达晰
李刚
徐国科
张世波
林晓华
王昆鹏
历惠宏
李自炳
文献传递
一种在高COP硅单晶衬底上制备200mm-300mm低缺陷外延片的方法
本发明涉及一种在高COP硅单晶衬底上制备200mm-300mm低缺陷外延片的方法,包括:(1)将高COP硅单晶衬底在纯氢气气氛中升温至800~850℃,保温5~10s;(2)然后升温至烘烤温度,将外延炉的保护气氛切换为氢...
梁兴勃
王震
陈华
李慎重
杨盛聪
邬幸富
田达晰
一种线切硅单晶
本实用新型涉及一种线切硅单晶,包括晶锭(1),所述晶锭(1)在钢线切入的最初位置点粘结有一引导条(2)。本实用新型在添加引导条后,当切割过程中发生断线时,不用完全将单晶抬出线网,让钢线在引导条中走动,启到既定轨道的作业,...
倪永明
林松青
黄业志
沈海潮
李刚
文献传递
微量掺锗直拉硅单晶技术及其应用
杨德仁1
田达晰2
余学功1
马向阳
直拉硅单晶是集成电路和光伏产业的基础材料。集成电路是信息产业的基石,是国家最重要的高科技产业之一,2017年我国集成电路年产值超过5400亿元。而太阳能光伏是国际上快速发展的新能源高新技术之一,我国已经成为国际最大的光伏...
关键词:
关键词:
直拉硅单晶
集成电路
光伏材料
一种用于直拉硅单晶生长的晶种夹头
本实用新型公开了一种用于直拉硅单晶生长的晶种夹头。包括挂钩、上段、中段、下段、销子,下段的中心为晶种的固定槽,下段的下部一侧开有销子孔,销子孔为普通键槽形状的通孔,销子孔内装有销子,销子为圆柱形,一侧有宽度e为3-6mm...
田达晰
何永增
程建国
张向成
郑铁波
李刚
文献传递
一种双排气平板式外延炉
本发明涉及一种双排气平板式外延炉,包括石英钟罩(1)和底板(15),底板(15)上端安装有石英钟罩(1),石英钟罩(1)的上端中部开有一个石英法兰接口(2),石英法兰接口(2)的上端通过法兰(3)与不锈钢排气管(4)相连...
彭世煜
田达晰
王震
张世波
梁兴勃
陈华
李慎重
文献传递
一种单晶炉用的高精度大扭矩的蝶阀控制结构
本实用新型涉及一种单晶炉用的高精度大扭矩的蝶阀控制结构,包括蝶阀以及安装在蝶阀上方的安装板,安装板上端安装有基座,基座上端安装有步进电机,步进电机输出轴的下端竖直穿过基座并安装有驱动齿轮,蝶阀上设有控制开度的阀杆,阀杆的...
龚益峰
梁兴勃
王少辉
范宋杰
王国有
李滨
硅外延片
本标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于在直径不大于150 mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。
张海英
李慎重
蒋玉龙
骆红
胡金枝
卢立延
李素青
硅抛光回收片
本标准规定了硅拋光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。 本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片(主要包括100 mm, 125 mm、150 mm和 200...
关键词:
电能平衡
直接能量转换
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