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亚电科技南京有限公司

作品数：18 被引量：0H指数：0
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合作机构

文献类型

  • 18篇中文专利

主题

  • 14篇晶圆
  • 4篇单片
  • 4篇一机多用
  • 4篇喷管
  • 4篇清洗液
  • 4篇转座
  • 4篇自动化
  • 2篇动体
  • 2篇选择性
  • 2篇水箱
  • 2篇气体
  • 2篇清洗槽
  • 2篇清洗方法
  • 2篇清洗剂
  • 2篇清洗盘
  • 2篇装箱
  • 2篇自动化操作
  • 2篇微尘
  • 2篇连接体
  • 2篇螺孔

机构

  • 18篇亚电科技南京...
  • 14篇江苏亚电科技...

年份

  • 5篇2022
  • 13篇2021
共 18 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种晶圆倒盒装置
本申请涉及一种晶圆倒盒装置，用于将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒完成倒盒。需要进行倒盒时，满载晶圆的晶圆盒放置到第一旋转组件上，空的晶圆盒放置到第二旋转组件上，第一旋转组件和第二旋转组件旋转使晶圆盒相对设置，之后由推...
钱诚童建周志勇霍召军
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基于加热干燥机构的半导体晶圆的清洗装置及清洗方法
本发明涉及半导体晶圆技术领域，具体地说，涉及基于加热干燥机构的半导体晶圆的清洗装置及清洗方法。其包括底部机构、安装在所述底部机构顶端的顶部机构以及安装在所述顶部机构侧面的干燥装置，所述底部机构顶端设置有放置件，所述放置件...
钱诚李刚童建
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一种晶圆盒对位翻转机构
本申请涉及一种晶圆盒对位翻转机构，工作时，先将晶圆盒放置到第一旋转座上，第一固定定位块与第一侧边定位块先对晶圆盒底部进行初步固定，发出端滑动定位驱动件推动晶圆盒抵靠住第一固定定位块以对晶圆盒进行固定。而后，第一滑动定位驱...
钱诚童建周志勇
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一种晶圆盒对位翻转转移方法
本申请涉及一种晶圆盒对位翻转转移方法，分别使用第一滑动定位驱动件和第二滑动定位驱动件分别使晶圆盒的侧边固定于第二固定定位块和第四固定定位块上，第二固定定位块和第四固定定位块分别设置于第二发出固定板和第二接收固定板上，且分...
钱诚童建霍召军
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一种晶圆盒对位翻转机构
本申请涉及一种晶圆盒对位翻转机构，工作时，先将晶圆盒放置到第一旋转座上，第一固定定位块与第一侧边定位块先对晶圆盒底部进行初步固定，发出端滑动定位驱动件推动晶圆盒抵靠住第一固定定位块以对晶圆盒进行固定。而后，第一滑动定位驱...
钱诚童建周志勇
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单片晶圆清洗装置清洗盘结构
本申请涉及一种单片晶圆清洗装置清洗盘结构，晶圆朝上由清洗液喷管喷出清洗液进行清洗，再由清水喷管喷出清水，以去除晶圆上的清洗剂残留，使用清洗液喷管和清水喷管时，通过旋转清洗液喷管和清水喷管使之对应到达晶圆上方，无须使用则将...
钱诚李文亭朱震
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单片晶圆清洗装置清洗盘结构及单片晶圆清洗装置
本申请涉及一种单片晶圆清洗装置清洗盘结构，晶圆朝上由清洗液喷管喷出清洗液进行清洗，再由清水喷管喷出清水，以去除晶圆上的清洗剂残留，使用清洗液喷管和清水喷管时，通过旋转清洗液喷管和清水喷管使之对应到达晶圆上方，无须使用则将...
钱诚李文亭朱震
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一种晶圆盒对位翻转转移方法
本申请涉及一种晶圆盒对位翻转转移方法，分别使用第一滑动定位驱动件和第二滑动定位驱动件分别使晶圆盒的侧边固定于第二固定定位块和第四固定定位块上，第二固定定位块和第四固定定位块分别设置于第二发出固定板和第二接收固定板上，且分...
钱诚童建霍召军
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基于超声震动式处理的半导体晶圆的清洗装置和方法
本发明涉及半导体设备技术领域，具体地说，涉及基于超声震动式处理的半导体晶圆的清洗装置和方法。其包括清洗机，清洗机至少包括：清洁体，清洁体包括清洁箱，清洁箱设置有清洗槽，清洁箱设置有进水管，清洗槽设置有出水管，出水管设置有...
钱诚李刚童建
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基于往复升缩的半导体晶圆外壁清洗装置和方法
本发明涉及一种清洗装置，具体地说，涉及基于往复升缩的半导体晶圆外壁清洗装置和方法。其包括冲刷装置以及安装在所述冲刷装置上方的清洗装置，所述冲刷装置包括安装台、储水箱和安装箱，所述储水箱固定在安装台顶部的一端，该基于往复升...
钱诚李刚童建
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共2页<12>
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