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四川科奥达技术有限公司
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广州市诺信数字测控设备有限公司
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广州市诺信数字测控设备有限公司
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光栅角度编码器
本标准规定了光栅角度编码器的术语和定义、结构型式与基本参数、功能、要求、电气安全性能、环境适应性、试验方法、检验规则、标志与包装等。本标准适用于以圆光栅盘为角度测量基准,准确度等级为±0.25'级、±0.5'级、±1'级...
关键词:
编码器
一种基于泰伯效应恢复光栅缺陷的紫外光刻方法
本发明公开了一种基于泰伯效应恢复光栅缺陷的紫外光刻方法,属于微电子、微光学、微纳结构和光电子器件制备等微纳加工领域的光刻技术领域,解决现有技术存在的极紫外光源体积大,成本高,操作安全系数难以保证的问题。本发明步骤为:(1...
邓茜
刘俊伯
赵立新
胡松
文献传递
一种镜片多点柔性支撑结构
本发明公开了一种镜片多点柔性支撑结构,属于光刻物镜技术领域,解决了光刻机投影光刻物镜在镜片使用中容易发生热变形,从而影响光刻机性能的问题,本发明包括镜片,所述镜片的外围连接有镜框,所述镜框与镜片的上表面之间连接有多个压块...
杨勇
周吉
金川
基于m序列码的单圈绝对式光电轴角编码器及其设计方法
本发明公开了基于m序列码的单圈绝对式光电轴角编码器及其设计方法,属于角测量装置技术领域,解决了现有的单圈绝对式光电轴角编码器在角度测量中分辨率低、稳定性差的问题,包括转台,所述转台的顶面上安装有码盘,所述码盘上靠近码盘外...
李文财
李胜强
谢拉堂
贺文
李立雷
李祥
刘畅
刘书岑
一种瞬态结构光数字全息超分辨成像方法
本发明公开了一种瞬态结构光数字全息超分辨成像方法,属于超分辨成像技术领域,解决了通过迭代算法对混叠频谱进行解调实时性较差的问题,本发明采用三种不同波长的光束产生结构光场,每个结构光光场由一束45°线偏振光束与一束圆偏振光...
金川
周吉
刘俊伯
全海洋
孙海峰
大气透射式能见度仪
本实用新型提供一种透射式能见度仪,能最大限度地抑制大气环境中的各类杂散光对测量系统的干扰,使该仪器在任何环境中,都能够精确测量大气能见度。大气透射式能见度仪,包括光源、发射透镜、接收透镜、带通滤光镜、光检测器和处理器,在...
吕军
程绍荣
魏全忠
魏慧林
杨宁
蒋红星
张珂
文献传递
一种光磁编码器的编码方法
本发明公开了一种光磁编码器及其编码方法,光磁编码器包括磁检测部、光检测部和控制电路单元,其中,控制电路单元中具有模数转换电路、起始位置计算电路和旋转角计算电路,通过模数转换电路将光检测部的模拟信号转换成数字信号,再结合磁...
魏慧林
汪涌
李胜强
谢元元
黄勇
张洪峰
陈永成
文献传递
大气能见度仪的光学天线保护窗玻璃
本实用新型提供一种大气能见度仪的光学天线保护窗玻璃,能有效防止空气中的水蒸气在保护窗玻璃上的冷凝,从而提高能见度仪的测量精度。大气能见度仪的光学天线保护窗玻璃,包括保护窗玻璃,在所述保护窗玻璃上加装加热装置。本实用新型由...
程绍荣
吕军
黄泽永
杨宁
蒋红星
秦怀川
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一种基于泰伯效应恢复光栅缺陷的紫外光刻装置
本发明公开了一种基于泰伯效应恢复光栅缺陷的紫外光刻装置,属于微电子、微光学、微纳结构和光电子器件制备等微纳加工领域的光刻技术领域,解决现有技术存在的极紫外光源体积大,成本高,操作安全系数难以保证的问题。本发明包括高压汞灯...
邓茜
刘俊伯
赵立新
胡松
文献传递
一种六自由度电磁控制机架
本实用新型公开了一种六自由度电磁控制机架,运用于神经外科手术显微镜或其它需多自由度速控操作的医疗器械,包括脚座、立柱、横臂、悬臂和头部,立柱和横臂之间通过机身横臂旋转关节(A1)连接,横臂和悬臂之间通过机身悬臂旋转关节(...
伍开军
黄焱林
夏彪
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