您的位置： 专家智库 > >

浙江师范大学交通学院机械工程系

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关机构：浙江工业大学机械工程学院特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室浙江工业大学机械工程学院更多>>
发文基金：教育部重点实验室开放基金更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作机构

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇研磨
  • 1篇抛光
  • 1篇金薄膜
  • 1篇合金
  • 1篇合金薄膜

机构

  • 1篇浙江师范大学
  • 1篇浙江工业大学

作者

  • 1篇张克华
  • 1篇文东辉
  • 1篇袁巨龙
  • 1篇陶黎

传媒

  • 1篇金刚石与磨料...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
合金薄膜铜衬底抛光质量对薄膜表面结构的影响被引量：4
2007年
合金薄膜具有良好的导电性、抗磨损性质,已成为半导体产业的技术热点。铜做为合金薄膜衬底材料时,要求其有完美的表面。本文采用氧化铝微粉和金刚石抛光膏对合金薄膜铜衬底进行了机械研磨和抛光的实验研究,采用接触式粗糙度仪、AFM、台阶仪和光学显微镜对比分析了铜衬底表面粗糙度、表面均匀性和平面度的变化规律。初步探讨了铜衬底表面对Pd-Ni-P合金薄膜表面结构的影响,研究结果表明采用1μm平面度,Ra小于3 nm且抛光均匀性好的光滑铜衬底可以获得良好的合金薄膜。
张克华文东辉陶黎袁巨龙
关键词：合金薄膜研磨抛光
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0