兰州交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 相关机构：兰州大学物理科学与技术学院微电子学研究所兰州大学物理科学与技术学院更多>>
- 发文基金：甘肃省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 一种新型结构的静电感应晶体管被引量：1
- 2007年
- 提出了一种新型结构的静电感应器件,设计了一道环绕的深槽,用以切断寄生效应.静电感应器件的寄生效应会导致器件性能的劣化甚至失效,文中提出了寄生效应的模型,并用PSPICE进行了仿真模拟,数值模拟结果和实验结果一致.实验表明这种深槽结构能够有效截断寄生路径,消除寄生电流的影响,优化器件性能.同时,文章详细描述了这种器件的设计和制造工艺.
- 唐莹刘肃李思渊吴蓉常鹏
- 关键词：静电感应晶体管寄生效应
- 槽栅型肖特基势垒静电感应晶体管
- 2008年
- 传统的静电感应晶体管多采用扩硼的方法制备栅极区,这种工艺热预算较高,使得工艺复杂程度和生产成本较高,基于此提出并设计了一种新型的槽栅型肖特基势垒静电感应晶体管。使用V形槽工艺,用溅射铝的方法代替扩硼工艺制备静电感应晶体管的栅极区,简化了工艺流程,使器件在调试过程中具有很大灵活性。使用PECVD(等离子体增强化学气相淀积)工艺,解决了槽栅结构静电感应晶体管的栅极区与源极区容易短路的问题。给出了详细的工艺流程。
- 杨涛刘肃李思渊王永顺李海蓉
- 关键词：静电感应晶体管肖特基势垒
