于大秋
- 作品数：15 被引量：31H指数：3
- 供职机构：中昊光明化工研究设计院有限公司更多>>
- 相关领域：化学工程经济管理理学环境科学与工程更多>>
- 半导体生产用剧毒气体解毒技术的研究
- 2009年
- 在半导体制造过程中,需要使用大量有毒性气体,如SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、PH3、CH3Br、H2S、H2Se、AsH3等。这些气体易燃、易爆、有毒,对人身及环境有危害性,为了确保IC等新型半导体材料产业顺利发展,开展气体解毒研究意义重大。传统上采用酸、碱、氧化剂的湿法工艺,存在许多弊病,近年来,剧毒气体干法解毒技术发展迅猛。本文介绍了该技术的原理,希望国产解毒装置能适应IC发展需求。
- 孙福楠吴江红柳蔚李英辉于大秋冯庆祥
- 关键词：半导体SIH4PH3干法解毒
- 2015中国气体
- 回顾2015年中国气体的现状,对未来中国气体进行了预测.提出了我国标准气体属地化生产与经营的想法,对我国各类主要电子气体同发达国家的市场经济差距做了详细的分析，加大力气调整布局，本着有所为，有所不为的原则，实现公司正规化...
- 孙福楠于大秋
- 关键词：市场经济布局规划
- 文献传递
- 2016:中国气体
- 2016年
- 对2016年中国气体尤其是电子气体的发展进行了回顾。经过危机的洗礼,我国气体逆流而上,在某些关键性的气体品种上取得了可喜的业绩,实现了产能与质量的双飞跃,经过多年的努力,我国在电子特气领域的空白不断在填补,和国外发达国家的差距也不断在缩小。同时我们也要充分认识到在创先方面仍要做大量细致的工作,只有成为科技的跟随者成为领跑者我们才能成为气体的强国。
- 孙福楠于大秋
- 关键词：气体笑气高纯氨高纯氯
- 危机下的中国气体
- 对新形势下的中国气体进行了详细的回顾,展望中国气体的未来,指出随着金融危机的过去,传统的气体生产理念和经营方式也将发生质的变化,这将为中国气体同国际接轨起到里程碑的作用。
- 孙福楠吴江红于大秋李英辉
- 关键词：高纯气体电子气体硅烷气体生产
- 文献传递
- 发展中的中国特种气体被引量：1
- 2018年
- 介绍了2018年中国特气的发展,展望了中国特种气体的未来发展,强调我国特种气体走自主发展、正规化、规模化、国际化的重要性。
- 孙福楠于大秋
- 关键词：标准气体
- 中国气体的现状与发展
- 本文对当下中国气体尤其是电子气体的市场运营情况、包装气瓶、气体检测仪器等技术进行了详细的介绍,指出中国气体未来发展的方向，为中国的高科技发展与进步提供更高质量的产品与服务.
- 孙福楠于大秋任越丛林韩薇柳蔚刘晓红
- 文献传递
- 2019:中国气体被引量：1
- 2019年
- 回顾了2019年中国气体行业的现状,对于我国各类主要电子气体做了详细的介绍,对未来中国气体产业发展进行了简要预测。
- 孙福楠于大秋
- 关键词：电子气体标准气体磷烷乙硼烷DCS
- 高纯溴甲烷的研制
- 2010年
- 高纯溴甲烷是一种重要的电光源气体,虽然用量不大,但其纯度对电光源器件具有很大的影响。详细介绍了溴甲烷的净化方法,指出采用常规的吸附剂如分子筛、细孔硅胶、活性炭不能很好地净化溴甲烷,溴甲烷在这些多孔物质的表面,容易发生歧化反应,导致溴甲烷产生复杂的产物,通过对某特定的吸附剂进行化学处理,能够很好地保留吸附剂的吸附作用,从而有效地消除其歧化作用。介绍了溴甲烷精馏的工艺条件,采用低温精馏可有效除去溴甲烷中的轻组分气体,减少有毒气体的放空量,提高了回收率,有效地减少剧毒气体对人和环境的危害。
- 吴江红叶水生柳蔚于大秋孙福楠
- 关键词：溴甲烷精馏
- 脉冲放电氦离子化气相色谱仪在特种气体分析中的应用被引量：9
- 2016年
- 脉冲放电氦离子化检测器作为一种高灵敏度检测器,能够检测除氖以外所有气体组分。为了更高效地检测高纯气体中杂质,避免基底气对分析测试结果的影响,一般采用中心切割法将杂质组分从基底气中分离出来。以He、H2、Ar、N2、CH4等高纯特气为例,说明在中心切割技术基础上加装预切柱对5A分子筛色谱柱的寿命以及仪器性能稳定方面有很重要的作用。通过对高纯氨测试结果表明,预切柱中填料的选择对于高纯气中微量氧的准确测定起着至关重要的作用。
- 刘晓红于大秋任越丛琳韩薇柳蔚
- 关键词：高纯气体
- 超纯电子混合气体及标准气体的配制技术被引量：2
- 2014年
- 介绍了电子混合气体的配制方法,指出我国此类气体在制备过程中存在的诸多问题。并对国外电子混合气体配制精度、组分气体和平衡气体的杂质要求进行了极其详细的分析。
- 孙福楠李健于大秋丛林任越韩薇柳蔚
- 关键词：混合气磷烷乙硼烷
