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关贺元
作品数:
10
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
理学
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
晋云霞
中国科学院上海光学精密机械研究...
刘世杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
孔钒宇
中国科学院大学
易葵
中国科学院上海光学精密机械研究...
邵建达
中国科学院上海光学精密机械研究...
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机构
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中国科学院大...
作者
10篇
关贺元
10篇
晋云霞
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刘世杰
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易葵
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孔钒宇
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杜颖
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2011
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减反射玻璃的制备方法
一种减反射玻璃的制备方法,包括对硅酸盐玻璃基片清洗、激光预处理、浸入刻蚀水溶液刻蚀、清洗和烘干等步骤,获得减反射玻璃。本发明的优点:工艺简单、增透效果可控、经过激光预处理后的玻璃表面不仅腐蚀速度快速且均匀,并且能有效提高...
杜颖
贺洪波
晋云霞
关贺元
孔钒宇
退火温度对宽带脉冲压缩光栅载体金属/介质多层高反膜的影响
被引量:4
2014年
分别以金(Au)作为金属层材料,氧化铪(HfO2)与氧化硅(SiO2)作为高低折射率层材料,利用物理气相沉积方法制备了用于宽带脉冲压缩光栅制作的金属/介质多层高反膜,研究了退火温度对其表面均方根粗糙度、反射率及抗化学清洗破坏能力的影响。实验结果表明:退火前后样品表面均方根粗糙度变化很小;提高退火温度能提高金属/介质多层膜的抗化学清洗破坏能力,但反射率会随之下降。250℃退火10 h后金属/介质多层膜不仅可以承受住化学清洗过程,而且反射率下降也比较小,可以作为金属/介质多层膜的最佳退火工艺。
吴建波
晋云霞
关贺元
孔钒宇
刘文文
刘世杰
易葵
关键词:
退火
化学清洗
反射率
减反射玻璃的制备方法
一种减反射玻璃的制备方法,包括对硅酸盐玻璃基片清洗、激光预处理、浸入刻蚀水溶液刻蚀、清洗和烘干等步骤,获得减反射玻璃。本发明的优点:工艺简单、增透效果可控、经过激光预处理后的玻璃表面不仅腐蚀速度快速且均匀,并且能有效提高...
杜颖
贺洪波
晋云霞
关贺元
孔钒宇
文献传递
高功率激光装置用脉宽压缩光栅的设计和研制
ICF是实现人类洁净能源的重要途径,快点火概念的提出极大地促进了高能拍瓦装置的研究进展,并且提出脉宽小于10皮秒的要求。国际上已有的或计划中的拍瓦装置的核心技术即啁啾脉冲放大技术或光参量啁啾脉冲放大技术或钛宝石泵浦和钕玻...
晋云霞
关贺元
孔钒宇
李大伟
邵建达
关键词:
激光薄膜
氧化物薄膜
阈值
光学性质
1053纳米波段的金属介质膜反射式偏振分束光栅
一种1053纳米波段的金属介质膜偏振分束光栅,特点在于其是在石英基底上依次镀制的银层、高反射膜层和矩形光栅构成,该矩形光栅的周期为680.6纳米,占空比为0.2,光栅刻蚀深度为374~476纳米,银层厚度为100纳米,高...
关贺元
晋云霞
刘世杰
汪剑鹏
范正修
文献传递
1053纳米波段的金属介质膜反射式偏振分束光栅
一种1053纳米波段的金属介质膜偏振分束光栅,特点在于其是在石英基底上依次镀制的银层、高反射膜层和矩形光栅构成,该矩形光栅的周期为680.6纳米,占空比为0.2,光栅刻蚀深度为374~476纳米,银层厚度为100纳米,高...
关贺元
晋云霞
刘世杰
汪剑鹏
范正修
偏振无关1550纳米高衍射效率双层透射光栅
一种偏振无关1550纳米高衍射效率双层透射光栅,其特点在于由石英基底和矩形光栅一体构成,该矩形光栅的周期为1000~1100纳米,占空比为0.57~0.655,所述的矩形光栅包括外层光栅和内层光栅构成,外层光栅为低折射率...
关贺元
晋云霞
刘世杰
易葵
邵建达
文献传递
金属介质膜宽带脉冲压缩光栅
一种用于800纳米中心波长的金属介质膜宽带脉冲压缩光栅,是在石英基底上自内向外依次的金属层、介质膜组成的匹配层和光栅刻蚀层一体构成,最外层为SiO<Sub>2</Sub>。该矩形光栅的周期为490-640纳米;占空比为0...
关贺元
晋云霞
吴建波
杜颖
侯永强
刘世杰
易葵
邵建达
文献传递
梯形金属介质膜宽带脉冲压缩光栅
一种梯形金属介质膜宽带脉冲压缩光栅,特点在于其是由石英基底,金层,两层介质膜组成的匹配层和三层介质膜组成的梯形光栅脊一体构成,最外层为SiO<Sub>2</Sub>。该梯形光栅的周期为490-640纳米;占空比为0.2-...
晋云霞
关贺元
刘世杰
易葵
邵建达
文献传递
用于制作中心波长800nm宽带脉冲压缩光栅的多层介质高反膜的激光损伤性能研究
本文介绍了一种用于制造中心波长800nm宽带脉冲压缩光栅的多层介质高反膜,它采用三种电介质(Ta2O5/SiO2/HfO2)以电子束蒸发的方法制作而成,该高反膜的光学性能达到了制作光栅的要求。通过对其损伤实验发现,在激光...
孔钒宇
陈顺利
晋云霞
刘世杰
关贺元
杜颖
魏朝阳
贺洪波
易葵
关键词:
光学性能
激光损伤
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