刘凤琼
- 作品数：20 被引量：5H指数：2
- 供职机构：中国科学院近代物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术文化科学核科学技术更多>>
- 一种能应用多种方法制备类金刚石薄膜的装置
- 本实用新型公开了一种能应用多种方法制备类金刚石薄膜的装置，包括真空腔室、磁控溅射源、电弧离子源和多弧离子源，其中，磁控溅射源、电弧离子源和多弧离子源设置于真空腔室上。本实用新型公开的能应用多种方法制备类金刚石薄膜的装置，...
- 刘凤琼卢子伟张宏斌李占奎李海霞陈若富李荣华王秀华
- 文献传递
- 一种大面积<Sup>13</Sup>C同位素靶的制备方法
- 本发明公开了一种大面积<Sup>13</Sup>C同位素靶的制备方法。采用热压法将<Sup>13</Sup>C同位素粉末热压到背靶材上，得到用于磁控溅射的<Sup>13</Sup>C同位素块状靶材；将热压成型的<Sup>...
- 卢子伟刘凤琼朱亚滨张宏斌李海霞李荣华王秀华陈翠红李占奎
- 碳膜原子氧传感器研制及地面性能测试
- 2024年
- 研制低地球轨道(LEO)原子氧(AO)探测器并且开展AO环境在轨监测对于LEO航天器设计及防护具有重要意义。基于电阻分析法的碳膜AO传感器因工作时间较长、响应线性度较好且无污染,在国内外得到较多应用。为优化AO在轨监测手段,设计了一种矩形碳膜AO传感器:采用阴极电弧放电工艺制备了厚约2.5μm的AO敏感碳膜;利用AO地面模拟设备,测试了传感器的性能,并表征了碳膜在AO作用前后的形貌。结果显示,传感器碳膜的初始电阻与AO试验过程中的实时测量电阻的比值R0/R与AO积分通量F具有较好的线性关系。根据测试结果推导,该传感器能探测的最大AO积分通量约为2.29×10^(21)atom·cm^(-2)。
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- 关键词：原子氧电阻测量
- 基于硼靶材磁控溅射的等离子刻蚀方法和镀膜方法
- 本发明公开基于硼靶材磁控溅射的等离子刻蚀方法和镀膜方法，属于薄膜材料制备技术领域。等离子刻蚀方法包括：在磁控溅射设备真空室中，样品架上安装基片，阴极上安装硼靶材；对磁控溅射设备真空室抽真空，通入氩气，对所述基片施加双极脉...
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- 医用重离子加速器U型碳剥离膜的研制被引量：1
- 2019年
- 碳剥离膜作为剥离器的核心组成部件是医用重离子加速器的重要装置之一,研制出满足医用重离子加速器要求的碳剥离膜至关重要。采用交流弧光放电法完成了医用重离子加速器中碳剥离膜的研制,并用扫描电子显微镜和拉曼表征手段测试分析了碳剥离膜的薄膜特性。为了不影响已注入环中离子的正常运行,靶框设计为U型,靶边框较窄仅为2 mm,碳剥离膜的有效面积为1 600 mm(2 40 mm×40 mm)。碳剥离膜的厚度为15μg·cm^?2,理论计算结果表明该碳剥离膜的厚度均匀性为97.65%。碳剥离膜具有一定的机械韧性,可以完成碳剥离膜的自动换膜过程,且在自动换膜过程中无破裂损伤。扫描电子显微镜观测结果显示:碳剥离膜的表面平整,内部结构致密。拉曼测试结果表明:位于1 580 cm^?1附近的G峰明显强于位于1 300 cm^?1附近的D峰,说明薄膜的石墨化程度较高;2 700 cm^?1左右的2D峰较弱,说明石墨分子层数较多。
- 刘凤琼卢子伟张宏斌戎欣娟李荣华李海霞李占奎王秀华
- 关键词：扫描电子显微镜拉曼
- 一种大面积<Sup>13</Sup>C同位素靶的制备方法
- 本发明公开了一种大面积<Sup>13</Sup>C同位素靶的制备方法。采用热压法将<Sup>13</Sup>C同位素粉末热压到背靶材上，得到用于磁控溅射的<Sup>13</Sup>C同位素块状靶材；将热压成型的<Sup>...
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- 新型p^(+)深层扩散结构p-in-n硅微条核辐射探测器被引量：2
- 2021年
- 设计了一种新型的p+深层扩散结构p-in-n硅微条核辐射探测器,介绍了该探测器的结构、工艺及性能测试结果.探测器为灵敏面积10 mm×10 mm的单面60条探测器,p+注入条宽64μm,栅宽96μm,p+注入条中心下方的p+深层扩散区宽10μm.测试内容包括该探测器的电学特性(反向漏电流、耗尽电压、条间电容、条间电阻)和探测特性(能量分辨、条间串扰).该探测器在45 V全耗尽偏压下,各条的反向漏电流均小于1.3 nA.探测器对241Amα粒子的能量分辨率约为2.6%,相邻条之间的串扰率约为4%.
- 王秀华李海霞李占奎李春艳陈翠红鲁辰桂李荣华祖凯玲王柱生刘凤琼
- 关键词：硅微条探测器P
- 一种无靶框自支撑碳剥离膜及其制备方法
- 本发明公开了一种制备无靶框自支撑碳剥离膜的方法。该方法包括下述步骤：1)取玻璃片并旋涂甜菜碱溶液；2)置于碳弧法制备碳剥离膜设备的真空室中,抽真空至真空度小于1.5*10<Sup>‑</Sup><Sup>3</Sup>P...
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- 一种以自支撑碳膜为衬底的镉靶及其制备方法
- 本发明公开一种以自支撑碳膜为衬底的镉靶及其制备方法，属于核靶制备技术领域。制备方法包括：在基体上制备碳膜，得到镀有碳膜的基体；在碳膜上制备镉膜，将所述镀有碳膜的基体置于真空蒸发设备中，真空条件下蒸镀镉，蒸镀镉过程中对基体...
- 卢子伟刘凤琼张宏斌李海霞李占奎李荣华王秀华陈翠红
- 一种医用治癌加速器碳剥离膜存储和携带盒
- 本发明涉及一种医用治癌加速器碳剥离膜存储和携带盒，包括外密封盒、内减震盒和减震层，内减震盒设置在外密封盒的内部，其顶部盖设连接有顶板，内部设置有隔板，并通过隔板分隔出至少两个放置腔；放置腔的底部设置有缓冲层；减震层设置在...
- 卢子伟刘凤琼张宏斌李海霞李占奎李荣华王秀华陈翠红
