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孔明东
作品数:
52
被引量:91
H指数:6
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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合作作者
郭春
中国科学院大学
李斌成
中国科学院光电技术研究所
柳存定
中国科学院光电技术研究所
黄伟
中国科学院光电技术研究所
何文彦
中国科学院光电技术研究所
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SiO_2光学薄膜的吸收边特性
被引量:3
2019年
二氧化硅(SiO_2)是光学系统中最常用光学薄膜材料之一,其微观结构、缺陷等信息对于研究和提高薄膜的性能具有重要作用。本文通过电子束蒸发、离子辅助、磁控溅射方法制备SiO_2薄膜并进行测试,计算出其吸收边光谱,对吸收边光谱的强吸收区、e指数区、弱吸收区进行分段分析得到SiO_2薄膜的带隙宽度、带尾能量和氧空位缺陷含量数据。进一步分析三种薄膜和其在常规退火温度下的带隙宽度、带尾能量和氧空位缺陷含量的数据,获得SiO_2薄膜的微观原子排列结构、微观缺陷信息,并对不同镀膜技术和不同退火温度下SiO_2薄膜的原子排列结构、微观缺陷的差异和变化进行了分析和讨论。
孔明东
李斌成
郭春
郭春
柳存定
关键词:
SIO2薄膜
一种用于镀膜行星系统中控制平面光学元件膜厚分布的挡板设计方法
一种用于镀膜行星系统中控制平面光学元件膜厚分布的挡板设计方法,真空镀膜过程中,膜料以蒸发或溅射方式在真空环境中传输,并在平面光学元件表面上形成厚度非均匀分布的薄膜。分别建立了能真实反映未使用挡板和使用挡板修正时真空镀膜机...
李斌成
郭春
孔明东
柳存定
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一种用于镀膜机中控制膜料沉积角分布的方法
本发明公开了一种用于镀膜机中控制膜料沉积角分布的方法,真空镀膜过程中,膜料以蒸发或溅射方式在真空环境中传输,并在光学元件上沉积形成薄膜。为优化薄膜分布,光学元件在镀膜机内做旋转运动。旋转运动使得光学元件上任意位置处膜料沉...
郭春
李斌成
孔明东
文献传递
一种行星转动镀膜机上薄膜厚度直接光控的安装方法
本发明公开了一种行星转动镀膜机上薄膜厚度直接光控的安装方法,通过研究行星转动夹具上镀膜元件的运动规律,设计专用圆环形直接光控测试片和镀膜夹具;在镀膜机中优化光源和光收集聚焦透镜的位置,并通过控制背景噪声、光强度以及信号测...
柳存定
李斌成
孔明东
文献传递
一种提高大口径球面光学元件深紫外增透膜透射率均匀性的方法
一种提高大口径球面光学元件深紫外增透膜透射率均匀性的方法,通过实验或理论方法,获得高真空镀膜机中大口径球面光学元件单层膜厚度均匀性修正挡板形状;利用修正挡板修正增透膜中每一层薄膜厚度均匀性,在球面光学元件上按照膜系设计要...
李斌成
柳存定
孔明东
郭春
高反射率光学薄膜的一种新设计方法
被引量:11
2000年
设计极高反射率光学薄膜必须考虑薄膜内电场强度分布对光损耗的影响。本文提出一种新设计方法用于既改善膜层内电场分布以减少薄膜的光损耗 ,同时又兼顾薄膜的反射率要求。该方法用薄膜的特征矩阵直接计算场强和反射率 ,建立综合评价函数来兼顾场强分布和光学反射率的要求 ,利用计算机进行优化设计。而且该方法能灵活有效地按任意场强和反射率要求优化设计各种膜系。
孔明东
李瑞洁
周九林
黄琼
关键词:
光学薄膜
一种用于大口径曲率半径比透镜的光学薄膜膜系设计方法
本发明公开了一种用于大口径曲率半径比透镜的光学薄膜膜系设计方法,为优化光学系统的性能,需要在大口径曲率半径比的透镜上制备光谱性能一致性良好的光学薄膜,为此需要全局优化光学薄膜膜系设计。本发明首先通过实验或者理论分析确定大...
郭春
李斌成
孔明东
文献传递
一种用于大口径光学薄膜元件制备的真空镀膜机
本发明公开了一种用于大口径光学薄膜元件制备的真空镀膜机,属于薄膜光学领域,与常规真空镀膜机相比,除了装配真空模块、蒸发源模块、薄膜厚度/速度监控模块和温度控制模块以外,还配置了特殊设计的行星旋转夹具模块,其特征在于行星旋...
郭春
孔明东
文献传递
一种用于提高光学薄膜光学性能的制备方法
本发明公开了一种用于提高光学薄膜光学性能的制备方法,属于真空镀膜技术领域,主要针对光学薄膜制备过程中,光学薄膜表面粗糙度随膜层增加而增加,影响光学薄膜的反射率以及透过率光谱;以及光学薄膜膜层材料的化学计量比失衡,引起光学...
郭春
孔明东
文献传递
一种用于镀膜机行星系统中控制球形光学元件膜厚分布的挡板设计方法
一种用于镀膜机行星系统中控制球形光学元件膜厚分布的挡板设计方法,真空镀膜过程中,膜料以蒸发或溅射方式在真空环境中传输,并在球形光学元件表面上形成厚度非均匀分布的薄膜。分别建立了能真实反映未使用挡板和使用挡板修正时真空镀膜...
李斌成
郭春
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