张兆玉
- 作品数：6 被引量：0H指数：0
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- 氮化硅涂层与硅熔体间浸润性研究
- 氮化硅涂层是多晶硅铸锭必不可少的脱模剂,氮化硅涂层与硅熔体间保持良好的非浸润性是保证硅锭从坩埚内壁顺利脱模的关键.本文重点研究氮化硅涂层在铸锭过程中浸润性的变化.结果显示,氮化硅涂层的碳化是导致氮化硅涂层与硅熔体间非浸润...
- 尹长浩周海萍周绪成张兆玉黄新明
- 关键词：多晶硅
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- 硼-镓共掺高效多晶硅及其制备方法
- 本发明公开了一种硼-镓共掺高效多晶硅，含有浓度为1×10<Sup>14</Sup>～2×10<Sup>16</Sup>cm<Sup>-3</Sup>的硼或磷，以及浓度为1×10<Sup>16</Sup>～2×10<Sup...
- 黄新明张兆玉明亮顾海泉钟根香
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- 有籽晶铸锭多晶硅中晶体生长分析
- 采用多晶硅籽晶铺底进行晶体外延生长的多晶硅铸锭方法,大大降低了硅晶体生长需要的形核势垒,有效的提高了晶体质量.研究发现,粒径细小的多晶硅颗粒料籽晶为晶体生长提供大量的晶核,生长出大小均匀的晶粒,并伴有较低的位错密度.随着...
- 朱笛笛明亮黄美玲张兆玉钟根香黄新明
- 关键词：多晶硅晶体生长产品质量
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- 异质形核生长高效多晶硅
- 分布均匀、直径较小的柱状晶粒是目前高效多晶硅铸锭工艺改进的目标.本文采用异质颗粒作为多晶硅生长的形核点,生长晶粒均匀的高效多晶硅,该方法较硅料籽晶具有无需精确控制剩余籽晶高度、硅方底部红区较短等优势.通过实验发现,异质引...
- 尹长浩周海萍周绪成张兆玉黄新明
- 关键词：晶体生长异质形核产品质量
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- 不同类型籽晶对多晶硅铸锭质量的影响
- 苏杰张兆玉明亮尹长浩朱笛笛钟根香黄新明
- 高纯石英隔离层对熔融石英坩埚与铸锭晶体硅间杂质扩散的影响
- 熔融石英坩埚中的金属杂质浓度较太阳能级晶体硅高4-5个数量级,其中对晶体硅性能危害较大的过渡族金属Fe含量较太阳能级晶体硅高2-3个数量级,因而在铸锭过程中熔融石英坩埚对硅料的污染不可忽略.本文以Fe在坩埚与晶体硅中的扩...
- 尹长浩周海萍周绪成张兆玉黄新明
- 关键词：多晶硅产品质量
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