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张精华

作品数：2 被引量：6H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇等离子体刻蚀
  • 1篇电池
  • 1篇蓄电池
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻式
  • 1篇液位
  • 1篇液位传感器
  • 1篇微加速度计
  • 1篇线性修正
  • 1篇刻蚀
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇硅微加速度计
  • 1篇非线性
  • 1篇非线性修正
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇张精华
  • 1篇张巍
  • 1篇田雷
  • 1篇迟晓珠
  • 1篇祁欣
  • 1篇侯占民
  • 1篇王伟
  • 1篇吴亚林

传媒

  • 2篇传感器技术

年份

  • 2篇2003
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
蓄电池液位传感器被引量：2
2003年
简要介绍应用于蓄电池的液位传感器的工作原理,电路设计。讨论传感器探头与被测液之间产生浸润现象的解决。提出了传感器非线性的修正方法。
张精华祁欣张巍
关键词：传感器液位非线性修正
压阻式硅微加速度计的研制被引量：4
2003年
介绍压阻式硅微加速度计的结构设计。采用等离子体刻蚀技术制作成硅微加速度计。该技术具有腐蚀深宽比高、掩模选择性好的特点,适用于微机械器件的制作。通过测试,加速度计的非线性达到0.2%。讨论了影响加速度计灵敏度的结构因素和工艺因素。
张精华田雷迟晓珠王伟侯占民吴亚林
关键词：压阻式硅微加速度计等离子体刻蚀MEMS
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共1页<1>
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