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应力对多层薄膜窄带滤光片透射特性的影响被引量：5: 2004年; 利用薄膜应力公式和弹性力学的小挠度弯曲理论,分析了多层薄膜应变与薄膜厚度变化的关系,建立起基片曲率与薄膜厚度变化关系的理论模型,提出了多层薄膜各层厚度不均匀变化的关系式。膜厚均匀变化只影响中心波长的漂移,而这种膜厚不均匀变化不仅引起中心波长也引起光谱的退化。在基片由10mm厚减薄到1.0mm时,对100GHz的窄带滤光片的模拟结果为中心波长减小0.977nm;0.5dB带宽减小0.19nm。引入膜厚随机误差的模拟结果为中心波长减小1.066nm;纹波增加0.36dB;峰值插损增加0.32dB,光谱进一步退化了。说明了基片曲率变化引起的光学薄膜厚度变化的不均匀性是引起这种窄带干涉滤光片光谱退化的主要原因之一。; 王成张贵艳马莹肖孟超钱龙生; 关键词：多层膜窄带滤光片薄膜应力

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张贵艳