曹珍恩
- 作品数：3 被引量：17H指数：2
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金哈尔滨市科技创新人才研究专项资金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 直流磁控溅射电源研制及输出特性研究被引量：10
- 2008年
- 磁控溅射技术在薄膜制备领域广泛应用,电源是磁控溅射镀膜的关键设备之一。本文介绍了全桥逆变直流磁控溅射电源主电路和控制电路的设计,该电源输出功率2 kW,采用PI恒流控制,具有过流保护。通过阻性负载测试表明电源具有很好恒流特性,在输出功率超过400 W时电源效率比较高。利用氮气/氩气不锈钢靶直流磁控溅射实际的等离子体负载测试表明:在保证真空室内压力不变的前提下,随着氮气比例的增加,电压下降,但电源恒流效果好,工作稳定。
- 曹珍恩巩春志田修波杨士勤
- 关键词：磁控溅射电源恒流
- TC4钛合金表面磁控溅射不锈钢薄膜制备及性能研究
- 钛合金具有高的比强度和比模量,优良的耐蚀性能等优点,广泛应用于航天航空、电子、化工等领域。但其耐磨性差、摩擦系数高、抗氧化性差,限制了其应用范围。如何进一步改善钛合金的表面性能,已成为广泛研究的热点。本文采用直流磁控溅射...
- 曹珍恩
- 关键词：钛合金磁控溅射抗氧化性能耐磨性能
- 文献传递
- 10kV等离子体表面改性高压脉冲电源被引量：6
- 2007年
- 研制的10kV高压脉冲电源采用脉冲单元叠加技术，将12组相互独立的各脉冲单元模块串联起来，采用同步驱动技术，实现了10kV的高压脉冲输出。可通过增减脉冲单元的数量，满足不同输出电压的需要，实现了模块化设计。该电源的性能指标为：脉冲电压幅值0．1～10．0kV，脉冲频率0．2～2．0kHz，脉冲占空比5％～30％，脉冲电流幅值20A，脉冲功率200kW。试验结果表明：在等离子体负载条件下电源运行稳定、可靠。
- 巩春志田修波曹珍恩朱宗涛杨士勤
- 关键词：高压脉冲电源
