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朱福运

作品数：30 被引量：5H指数：1
供职机构：北京大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域：电气工程自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 26篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇电气工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 14篇刻蚀
  • 11篇电机
  • 11篇离子刻蚀
  • 11篇发电机
  • 11篇反应离子
  • 11篇反应离子刻蚀
  • 10篇高深宽比
  • 7篇纳米
  • 6篇纳米阵列
  • 4篇电池
  • 4篇太阳光
  • 4篇太阳光谱
  • 4篇太阳能
  • 4篇太阳能电池
  • 4篇扩散层
  • 4篇减阻
  • 4篇光层
  • 4篇光谱
  • 4篇复合结构
  • 3篇等离子体刻蚀

机构

  • 30篇北京大学
  • 1篇南开大学

作者

  • 30篇朱福运
  • 30篇张海霞
  • 26篇张晓升
  • 11篇韩梦迪
  • 8篇孟博
  • 8篇刘雯
  • 6篇褚世敢
  • 6篇孙旭明
  • 5篇邸千力
  • 3篇程晓亮
  • 2篇唐伟
  • 2篇苏宗明
  • 2篇彭旭华
  • 2篇邱国林
  • 1篇袁泉
  • 1篇李志宏
  • 1篇金玉丰
  • 1篇唐伟
  • 1篇王任鑫
  • 1篇王琦琦

传媒

  • 1篇信息与电子工...
  • 1篇纳米技术与精...
  • 1篇中国电子科学...
  • 1篇第十一届全国...

年份

  • 1篇2017
  • 8篇2015
  • 2篇2014
  • 8篇2013
  • 7篇2012
  • 4篇2011
共 30 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于微纳集成加工技术的三维减阻微流道结构及制备方法
基于微纳集成加工技术的三维减阻微流道结构及制备方法，涉及微加工技术领域。利用无掩膜优化深反应离子刻蚀(DRIE)工艺，直接在微米尺度沟槽各表面制备实现高密度高深宽比纳米尺度锥尖阵列，增大其表面积和体积比；同时可在其表面淀...
张海霞张晓升朱福运褚世敢
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一种基于纳米森林模板的超亲水聚二甲基硅氧烷薄膜制备方法
本发明公开了一种基于纳米森林模板的超亲水聚二甲基硅氧烷薄膜制备方法，包括如下步骤：步骤1：将聚二甲基硅氧烷聚合物本体与聚合物引发剂按照一定的质量比，混合均匀形成聚二甲基硅氧烷预聚体；步骤2：通过压印或铸造的方法，控制温度...
张海霞张晓升尼古拉斯·皮特朱福运褚世敢
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一种微纳集成发电机及其制备方法
本发明公开了微纳集成发电机及制备方法，结构包括导电层、PET层、PDMS层、微纳复合PDMS阵列和金属膜层，导电层制作于PET层表面；PET层为聚对苯二甲酸乙二醇酯；PDMS层为聚二甲基硅氧烷；微纳复合PDMS阵列制作于...
张海霞张晓升韩梦迪朱福运
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一种基于压电摩擦电磁的复合纳米发电机
本发明涉及一种基于压电摩擦电磁的复合纳米发电机，在转子外侧相对应位置上设置有一对突起的扣罩式摩擦层。在外壳内侧相对应位置上设置有一对突起的扣罩式压电层。在外壳内侧设置有相对应的一对磁极。本发明将基于压电的能量采集方式的高...
张晓升张海霞韩梦迪孙旭明朱福运刘雯
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微纳复合结构的太阳能电池及其制备方法
本发明公开了一种微纳复合结构的太阳能电池及其制备方法。其中，该微纳复合结构的太阳能电池的一侧设置有：在硅基衬底上表面制作的掺杂扩散层、在所述掺杂扩散层上腐蚀获取的微米尺度吸光层；以及在所述微米尺度吸光层上刻蚀获得的纳米尺...
张晓升邸千力朱福运张海霞
一种基于纳米摩擦发电机的主动式可视化湿度检测系统
本发明涉及一种基于纳米摩擦发电机的主动式可视化湿度检测系统，所述系统包括：纳米摩擦发电机、控制电路和显示单元，其中，纳米摩擦发电机的上下电极板通过导线与控制电路和显示单元进行连接。本发明利用纳米摩擦发电机输出特性随环境湿...
张海霞张晓升韩梦迪孟博朱福运孙旭明刘雯
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一种亲疏水性可调谐柔性碳化硅薄膜制备方法
一种亲疏水性可调谐柔性碳化硅薄膜制备方法，采用优化深反应离子刻蚀(DRIE)工艺，无需掩膜实现高密度纳米碳化硅球状阵列，极大增大表面面积体积比；同时由于优化DRIE工艺中钝化步骤在表面淀积的氟碳聚合物，极大降低表面能，则...
张海霞张晓升孟博朱福运唐伟
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一种高密度纳米电极阵列及其制备方法
一种高密度纳米电极阵列制备方法，在导电性好的金属或半导体基底上，将纳米金属颗粒均匀紧密单层排布，通过高温退火工艺使纳米金属颗粒与基底紧密结合，再利用等离子体处理工艺刻蚀基底，制备实现高密度高深宽比纳米电极阵列结构。本发明...
张海霞张晓升苏宗明金柏宏朱福运
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基于微纳集成加工技术的可植入三维减阻微流道及制备方法
一种基于微纳集成加工技术的可植入三维减阻微流道及制备方法，利用无掩膜优化深反应离子刻蚀(DRIE)工艺，直接在硅基微米尺度沟槽各表面制备实现高密度高深宽比纳米森林结构，然后利用铸模方法将硅基微米尺度沟槽及其表面的纳米森林...
张海霞张晓升朱福运褚世敢
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一种用于黑硅制备的设备
本发明公开了一种用于黑硅制备的设备，包括反应室(100)、气体流量控制装置(110)、压强调控装置(140)、冷却装置(150)线圈功率源组件、平板功率源组件，其特性在于：所述反应室(100)上方设置石英盖(101)，所...
张海霞朱福运邸千力张晓升
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