李新弘
- 作品数：4 被引量：13H指数：2
- 供职机构：浙江大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
- 基于白光干涉的自稳定定量相位成像系统被引量：6
- 2008年
- 提出和建立了基于白光干涉的自稳定定量相位成像系统。该系统以柯勒照明的白光迈克耳孙干涉计为基础,使用自稳定锁相电路以减少相位噪音,引入相移装置获得定量的相位图像。实验分别以平面镜、标准测试图和聚苯乙烯小球为样品,获得了清晰的定量相位图像,实现了对样品的实时观测。该装置采用卤素灯照明,达到轴向分辨力5 nm,系统中的柯勒照明结构使其具有高空间相干性。实验结果表明,该装置能有效避免系统中其他光学表面(如系统中的透镜表面)干扰信号的影响。
- 李新弘章海军张冬仙
- 关键词：白光干涉柯勒照明
- 基于白光干涉的自稳定定量相位成像技术及系统研究
- 现代光学测试技术是精密与超精密测量及微纳米检测的关键技术之一，光学干涉技术是现代光学测试技术的主要方面，它具有高灵敏度、高精度、非接触性及可实现实时测量等特点，其中相位测量干涉技术是近年来国内外研究热点之一。本文展开基于...
- 李新弘
- 关键词：白光干涉
- 液相型原子力显微镜在金属腐蚀研究中的应用
- 本文简要介绍了原子力显微镜系统的基本构成,提出液相型原子力显微镜的新方法,阐述了其工作原理,给出包含特殊检测光路的液相探头系统设计,研制完成一种新的液相型原子力显微镜系统。利用此系统在液相环境中进行了金属样品腐蚀过程的实...
- 李新弘张虎张冬仙章海军
- 关键词：原子力显微镜液相
- 文献传递
- 压电陶瓷驱动的铰链放大式微动工作台研究被引量：6
- 2004年
- 研制了一种新的压电陶瓷驱动的铰链放大式微动工作台。介绍了该微动工作台的基本原理,利用原子力显微镜技术测定了压电陶瓷与铰链放大臂的微位移和微振动,确定了铰链机构的放大比及微动工作台的时间响应频率。结果表明,该微动工作台能以0.5μm～5μm的步长实现平稳的微位移,最大速度达到250μm/s。
- 李新弘章海军
- 关键词：压电陶瓷铰链机构微动工作台原子力显微镜
