杨拥军
- 作品数：154 被引量：204H指数：8
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家重点实验室开放基金国家部委资助项目更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>
- 微惯性测量单元橡胶减振器结构设计被引量：3
- 2018年
- 为减小外部环境的振动和冲击对微惯性测量单元（MIMU）的输出的影响,基于减振器六种隔振模式理论和单自由度系统无阻尼自由振动原理,选择合适的隔振模式并分析了MIMU橡胶减振器谐振频率的影响因素。通过构建有效的有限元模型分析MIMU减振结构的频率响应,并调整减振器内环、外环结构及减振橡胶的材料硬度等因素,设计得到了一种MIMU橡胶减振器结构。最终,通过对含减振结构的MIMU样机进行扫频振动实验,实验结果与预期设计结果一致。实验结果表明,该结构不仅减少了MIMU受内部和外部振动源的干扰,还实现了减振系统的三向等刚度。研究工作为MIMU橡胶减振器设计提供了有效可行的方法。
- 吝海锋沈超群杨拥军沈路王宁刘译允
- 关键词：有限元仿真橡胶减振器隔振
- 具有三维止档结构的抗过载MEMS器件及其加工方法
- 本发明公开了一种具有三维止档结构的抗过载MEMS器件及其加工方法，属于微机械加工工艺技术领域。MEMS器件包括底座、盖帽以及位于底座和盖帽之间的结构层，底座与结构层之间、盖帽与结构层之间均为周边键合，底座的上表面、与活动...
- 杨拥军徐淑静李博何洪涛
- 文献传递
- 一种基于SOI技术的MEMS电容式压力传感器被引量：6
- 2018年
- 利用绝缘体上硅（SOI）技术研制了一种可以用于飞行高度测量、气象环境监测和医疗等领域的高精度微电子机械系统（MEMS）电容式压力传感器。利用有限元分析软件对传感器敏感结构进行了结构建模、静力和模态仿真分析。敏感结构为敏感电容和参考电容差动输出形式,可以有效减小温度漂移和重力误差对压力测量准确度的影响。比较了无岛和有岛两种敏感膜的性能差异。为了提高传感器性能,利用成熟的MEMS加工工艺制作了SOI敏感电容极板,并利用硅-硅键合工艺实现了真空腔体。传感器采用标准塑封封装后,采用高低温压力测量系统进行了性能测试。测试结果表明,传感器量程达到30-120 kPa,非线性0.04%-0.09%,分辨率1 Pa。
- 卞玉民杨拥军
- 关键词：电容式压力传感器
- 一种用于高精度电容传感器电路的三级运算放大器被引量：2
- 2022年
- 为提高电容式传感器专用集成电路(ASIC)的检测精度,设计了一种三级运算放大器电路。该放大器电路为全差分实现形式,采用三级共源放大器级联结构,使用密勒补偿并调整零点抵消高频极点,以保证放大器的稳定性。该放大器电路基于0.18μm标准CMOS工艺设计实现,工作电压为1.8 V,工作电流为80μA。电路仿真结果显示:三级运算放大器的直流增益为118 dB,单位增益频率为73 MHz,噪声水平为0.21μV/√Hz。芯片测试结果表明,采用该放大器的电容传感器电路前端的非线性优于6×10^(-5)。该放大器功耗低、面积小、可靠性好,在工程上实现了较优的综合性能。
- 任臣杨拥军
- 关键词：密勒补偿
- 划时代的MEMS加工技术被引量：5
- 2009年
- 介绍了MEMS技术的总体概况;阐述了MEMS加工技术的主要内容、特点和发展趋势:说明了MEMS加工技术的应用方向;提出了发展我国MEMS技术的一些建议。
- 杨拥军
- 关键词：MEMSLIGA
- 微反射镜阵列制造方法
- 本发明公开了一种微反射镜阵列制造方法，用于对高填充因子、大角度扭转、大阵列微反射镜阵列的制造。该方法采用体硅MEMS加工技术、垂直梳齿驱动方式、晶片键合工艺以及刻蚀技术，特点是中间驱动层加工好后进行晶片键合，在驱动层上方...
- 徐永青杨拥军李艳丽
- 三轴热对流加速度传感器
- 本发明公开了一种三轴热对流加速度传感器，它属于微机械传感器领域。它包括内部设置有敏感元件的封闭腔体、加热器、温度传感器，加热器和三个轴向的温度传感器都设置在封闭腔体内，敏感元件为限定在封闭腔体内的气体，加热器位于封闭腔体...
- 杨拥军徐淑静吕树海
- 文献传递
- 硅基磁性材料衬底制备方法
- 本发明公开了一种硅基磁性材料衬底制备方法，涉及采用微电子机械加工技术制作硅基磁性材料衬底的方法技术领域。所述方法包括如下步骤：1）对底层单晶硅片进行双面抛光处理；2）使用光刻及反应离子刻蚀工艺在底层单晶硅片的上表面进行刻...
- 杨志汪蔚胡小东杨拥军徐永青胥超
- 文献传递
- 基于冗余MEMS传感器的航姿仪
- 本发明公开了一种基于冗余MEMS传感器的航姿仪，包括：整体呈长方体型的外壳；设置在所述外壳中的冗余MEMS测量装置，包括相互冗余的多个MEMS传感器，各个所述MEMS传感器的坐标轴相互正交；对所述冗余MEMS测量装置起减...
- 于翔杨拥军沈路李博
- 文献传递
- 高分辨率MEMS振动测量传感器开发及应用
- 杨拥军徐淑静吝海锋胥超许鹏任臣何洪涛郑锋张佳
- 该顶目属于电子通信与自动控制技术-半导体技术-半导体器件与技术（机械工程-器仪表技术-感器技术）领域。针对航天、航空、轨道交通、地震监控、桥梁等重大领域对高分辨率振动铡量传感器的迫切需求，攻克了高灵敏度微振敏感芯片设计、...
- 关键词：
