毕安园
- 作品数：5 被引量：42H指数：4
- 供职机构：北京工业大学材料科学与工程学院新型功能材料教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺冶金工程一般工业技术更多>>
- 化学气相沉积制备钼钨合金被引量：11
- 2005年
- 以MoF6、WF6以及H2为原料,用化学气相共沉积的方法,成功地在铜基片表面沉积出钼钨合金。实验分析表明:沉积层结构为单相均匀固溶体。在钼含量高时沉积层显微组织呈细晶层状结构,在钼含量较低时沉积层显微组织呈柱状晶生长。改变反应气体中WF6、MoF6相对含量可实现膜层成分可控。采用化学气相沉积法沉积钼钨等难熔金属合金,沉积纯度高,设备简单,沉积速率快,在高温抗烧蚀涂层及耐腐蚀涂层方面具有广泛的应用前景。
- 马捷毕安园王从曾周美玲
- 关键词：化学气相沉积钼合金
- 化学气相沉积难熔金属钼组织性能的研究被引量：4
- 2005年
- 介绍了化学气相沉积法制备难熔金属钼膜层的原理和方法。以MoF6 和H2 为原料,采用化学气相沉积法在纯铜基体上沉积出难熔金属钼膜层。分析研究了沉积层的组织、结构和硬度。实验结果表明:沉积膜层显微组织随沉积温度变化而不同,沉积温度较低时沉积层显微组织为细晶层状结构,沉积层硬度可达6 77HV ;沉积温度较高时沉积层显微组织为致密的柱状晶,硬度稍高于一般烧结钼。
- 王从曾马捷毕安园周美玲
- 关键词：化学气相沉积钼显微组织
- 化学气相沉积难熔金属钼组织性能的研究
- 介绍了化学气相沉积法制备难熔金属钼膜层的原理和方法。以MoF和H为原料,采用化学气相沉积法在纯铜基体上沉积出难熔金属钼膜层。分析研究了沉积层的组织、结构和硬度。实验结果表明:沉积膜层显微组织随沉积温度变化而不同,沉积温度...
- 王从曾马捷毕安园周美玲
- 关键词：化学气相沉积钼显微组织
- 文献传递
- CVD温度对钼沉积层组织及性能的影响被引量：4
- 2005年
- 介绍了化学气相沉积法(CVD)制备难熔金属钼膜层的原理和方法。以MoF_6和H_2为原料,采用化学气相沉积法在纯铜基体上沉积出难熔金属钼膜层。分析研究了沉积层的组织、结构和硬度。实验结果表明：沉积膜层显微组织随沉积温度变化而不同,沉积温度较低时,沉积层显微组织为细晶层状结构,沉积层硬度可达677×9.8 MPa：沉积温度较高时,沉积层显微组织为致密的柱状晶,硬度稍高于一般烧结钼的硬度。
- 马捷毕安园王从曾周美玲
- 关键词：化学气相沉积钼显微组织
- 化学气相沉积法制取异型钨制品研究被引量：26
- 2006年
- 采用化学气相沉积的方法,以WF6和H2为原料,通过气相反应成功地沉积出多种异型致密钨制品.实验结果表明：沉积层显微组织呈柱晶沿（200）晶面择向生长,具有高纯度（〉99.8%）,高致密度（〉19.2 g/cm^3）,沉积速度可达2～3 mm/h. 采用化学气相沉积法制备钨制品,设备简单,工艺稳定可靠,且制品质量较高,特别适合于异型制品的制备,是一种具有广泛应用前景的钨制品制备方法.
- 马捷张好东毕安园王从曾周美玲
- 关键词：材料合成与加工工艺化学气相沉积钨
