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王翠芝
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1
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供职机构:
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院测控与信息技术系
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
周浩敏
北京航空航天大学仪器科学与光电...
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2006
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硅谐振式压力微传感器输出特性的实验研究
硅谐振式压力微传感器是二十一世纪的一项关键技术.具有易于与计算机接口,便于微细加工和集成等优点.但是传感器结构受到工艺条件的制约,其性能受各种因素影响较大,输出数据漂移问题仍然存在,在目前条件下,需要研究采取一些相关的技...
王翠芝
周浩敏
关键词:
硅微传感器
压力传感器
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漂移补偿
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