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文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇镀膜技术
  • 2篇离子束
  • 2篇膜材
  • 2篇金属
  • 2篇金属材料
  • 2篇溅射
  • 2篇

机构

  • 2篇中国科学院金...

作者

  • 2篇王贤艳
  • 2篇于洪波
  • 2篇刘实
  • 2篇郑华
  • 2篇王隆保
  • 2篇马爱华

年份

  • 1篇2006
  • 1篇2004
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
一种向金属材料中引入氦的方法
一种向金属材料中引入氦的方法,其特征在于:采用溅射镀膜技术,在镀膜的同时,向沉积室引入低能氦离子束,氦离子束的能量介于100~1000eV。通过实施本发明的技术,较好地解决了向材料(膜材)中引入高浓度氦的问题。与传统方法...
刘实王隆保郑华马爱华于洪波王贤艳
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一种向金属材料中引入氦的方法
一种向金属材料中引入氦的方法,采用溅射镀膜技术,其特征在于:在镀膜的同时,向膜材表面注入低能氦离子束,离子束的能量低于1000eV。通过实施本发明的技术,较好地解决了向材料(膜材)中引入高浓度氦的问题。与传统方法相比,引...
刘实王隆保郑华马爱华于洪波王贤艳
文献传递
共1页<1>
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