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王贤艳
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中国科学院金属研究所
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合作作者
马爱华
中国科学院金属研究所
王隆保
中国科学院金属研究所
郑华
中国科学院金属研究所
刘实
中国科学院金属研究所
于洪波
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作者
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王贤艳
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2006
1篇
2004
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一种向金属材料中引入氦的方法
一种向金属材料中引入氦的方法,其特征在于:采用溅射镀膜技术,在镀膜的同时,向沉积室引入低能氦离子束,氦离子束的能量介于100~1000eV。通过实施本发明的技术,较好地解决了向材料(膜材)中引入高浓度氦的问题。与传统方法...
刘实
王隆保
郑华
马爱华
于洪波
王贤艳
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一种向金属材料中引入氦的方法
一种向金属材料中引入氦的方法,采用溅射镀膜技术,其特征在于:在镀膜的同时,向膜材表面注入低能氦离子束,离子束的能量低于1000eV。通过实施本发明的技术,较好地解决了向材料(膜材)中引入高浓度氦的问题。与传统方法相比,引...
刘实
王隆保
郑华
马爱华
于洪波
王贤艳
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