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董莹

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 2篇四唑
  • 2篇酮基
  • 2篇铜表面
  • 2篇铜布线
  • 2篇抛光
  • 2篇缓蚀
  • 2篇缓蚀剂
  • 2篇机械抛光
  • 1篇手术
  • 1篇手术模式
  • 1篇热化学
  • 1篇肿瘤
  • 1篇肿瘤化学
  • 1篇肿瘤热
  • 1篇注射装置

机构

  • 3篇清华大学

作者

  • 3篇董莹
  • 2篇路新春
  • 2篇戴媛静
  • 2篇雒建斌
  • 1篇徐迪
  • 1篇黄昱
  • 1篇刘冉
  • 1篇刘静

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2012
  • 1篇2008
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
缓蚀剂、其制备方法及化学机械抛光组合物
本发明提供了一种新的、含有唑基和酮基的缓蚀剂，其结构为(I)所示。进一步地，本发明还提供了上述缓蚀剂的制备方法和含有该缓蚀剂的酸性化学机械抛光组合物。本发明公开的缓蚀剂，适合在超大规模集成电路多层铜布线铜的低下压力化学机...
路新春董莹戴媛静雒建斌
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缓蚀剂、其制备方法及化学机械抛光组合物
本发明提供了一种新的、含有唑基和酮基的缓蚀剂，其结构为(I)所示。进一步地，本发明还提供了上述缓蚀剂的制备方法和含有该缓蚀剂的酸性化学机械抛光组合物。本发明公开的缓蚀剂，适合在超大规模集成电路多层铜布线铜的低下压力化学机...
路新春董莹戴媛静雒建斌
用于肿瘤热化学靶向消融治疗的可控型微创注射装置
用于肿瘤热化学靶向消融治疗的可控型微创注射装置，属于医疗器械技术领域。该装置由控制及显示装置、玻璃管封装的热电偶或pH传感器和一路或多路注射系统组成，每路注射系统包括步进电机、蠕动泵、试剂瓶、耐酸碱胶管以及注射微针。本发...
黄昱董莹徐迪刘冉刘静
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共1页<1>
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