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贾晟

作品数：4 被引量：21H指数：1
供职机构：南京师范大学更多>>
发文基金：江苏省科技厅产学研前瞻性项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程建筑科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇建筑科学
  • 1篇理学

主题

  • 4篇光纤
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇光刻
  • 3篇法布里-珀罗
  • 2篇压力传感器
  • 2篇紫外光刻
  • 2篇微压
  • 2篇力传感器
  • 2篇光纤传感
  • 2篇光纤传感器
  • 2篇法布里-珀罗...
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微机电系统技...
  • 1篇微压传感器
  • 1篇机电系统
  • 1篇光刻工艺
  • 1篇光刻胶
  • 1篇法布里-珀罗...

机构

  • 4篇南京师范大学

作者

  • 4篇贾晟
  • 3篇蔡东艳
  • 3篇朱佳利
  • 3篇王鸣
  • 2篇尤晶晶
  • 2篇张丛丛
  • 2篇戴丽华

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器及其制备方法
本发明公开了一种微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器，是通过传统的MEMS微细加工与近紫外光刻技术相结合形成的：在硅敏感膜上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个位移柱以及光纤的定位槽，位移柱的端面以及光纤的端面形成法...
王鸣戴丽华蔡东艳朱佳利贾晟尤晶晶张丛丛
文献传递
光纤法布里-珀罗微压传感器被引量：20
2014年
设计并研制了一种新型光纤法布里珀罗压力传感器，通过光刻、硅片刻蚀、阳极键合等微机电系统技术制作而成，适合恶劣环境下、狭小空间内的微压环境压力测量。详细阐述了传感器的结构设计和制作方式。该设计巧妙地利用了光纤法兰盘，保证了光纤端面与敏感膜的平行，从而形成高质量的法布里珀罗干涉腔。该结构也有利于初始腔长的稳定，减小了传感器误差。建立了实验解调系统，对其压力、温度等特性进行了详细的测试。实验结果表明，在0-0.1 MPa的压力范围内，传感器线性度好，重复性高，灵敏度达到了61.6 μm/MPa。
朱佳利王鸣蔡东艳贾晟
关键词：传感器光纤传感器法布里-珀罗微机电系统技术
微型微压光纤传感器的研究与制备
随着社会的不断发展,传感器的应用越来越广泛,从而对传感器的设计和制备也提出了更高的要求。特别是在一些特殊的工业应用领域,例如原油管道,煤气管道,石油钻进等易燃易爆的环境中,急需一种具有抗辐射、抗电磁干扰、灵敏度高、尺寸小...
贾晟
关键词：法布里-珀罗干涉仪SU-8光刻胶
文献传递
微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器及其制备方法
本发明公开了一种微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器，是通过传统的MEMS微细加工与近紫外光刻技术相结合形成的：在硅敏感膜上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个位移柱以及光纤的定位槽，位移柱的端面以及光纤的端面形成法...
王鸣戴丽华蔡东艳朱佳利贾晟尤晶晶张丛丛
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