陈广琦
- 作品数：2 被引量：11H指数：1
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- 磁控溅射法制备Fe-Si-Al电磁屏蔽薄膜的性能研究
- 电子产品带来方便的同时也带来电磁污染等问题,对设备的正常运行和人类的健康带来负面影响。解决这类问题的有效的方法是使用吸波材料,研究发现,Fe-Si-Al合金的质量比为85%Fe-9.5%Si-5.5%Al时,可获得高初始...
- 陈广琦
- 关键词：磁控溅射磁导率
- 文献传递
- 聚酰亚胺柔性基底上磁控溅射金属铜膜的电学性能研究被引量：11
- 2014年
- 为了制备用于挠性电路板中的挠性覆铜板,在聚酰亚胺上使用中频磁控溅射方法制备金属Cu膜.实验中,通过改变制备温度、衬底偏压、制备时间等工艺参数,制备出导电性符合要求的Cu薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)研究薄膜的成分、结构以及表面形貌,用触针式台阶仪、四探针电阻测量仪测量薄膜的膜厚以及电阻,并计算薄膜的电阻率.最终得到制备导电性符合工业应用标准的Cu膜的最佳工艺条件:制备温度100℃,直流偏压50 V,无脉冲偏压.
- 彭琎陈广琦宋宜驰谷坤明汤皎宁
- 关键词：挠性覆铜板中频磁控溅射电阻率
