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韩郁

作品数：2 被引量：4H指数：1
供职机构：吉林大学更多>>
发文基金：吉林省环保局科技项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 2篇气体传感
  • 2篇气体传感器
  • 2篇微结构
  • 2篇温度分布
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇电极
  • 1篇气体
  • 1篇微加热器
  • 1篇微热板
  • 1篇ZNO材料
  • 1篇ANSYS

机构

  • 2篇吉林大学

作者

  • 2篇韩郁
  • 1篇王连元
  • 1篇田云霞
  • 1篇李守春
  • 1篇陕皓
  • 1篇李伟
  • 1篇刘丽
  • 1篇魏爱国

传媒

  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 2篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种新型微结构气体传感器电极设计分析被引量：3
2012年
利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层,在单晶硅衬底上,设计了一种新型微结构气体传感器的电极结构。这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰。通过有限元分析工具分析加热器和信号电极在不同宽度与间距下的温度分布。当加热器宽度为100μm,信号电极宽度35μm,间距为70μm,传感器获得均匀的温度分布和低功耗,有利于传感器整体性能的提高。
韩郁刘丽陕皓王连元李守春李伟田云霞魏爱国
关键词：气体传感器微加热器电极温度分布
新型微结构气体传感器设计分析及乙醇气敏元件的研究
气体传感器广泛应用于农业、居家生活及空气质量监测等各领域。随着微电子技术的发展，气敏元件的小型化和集成化成为传感器的发展方向。微结构气体传感器以其尺寸小，便于集成和多功能等特点已经成为人们研究的热点。本文对微型气体传感器...
韩郁
关键词：微热板ANSYS温度分布ZNO材料
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